光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
4期
906-912
,共7页
原子力/光子扫描隧道组合显微镜%自激振荡模式%响应时间
原子力/光子掃描隧道組閤顯微鏡%自激振盪模式%響應時間
원자력/광자소묘수도조합현미경%자격진탕모식%향응시간
介绍了采用频率偏移控制样品/探针间距的原子力光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM).制备了尖端直径＜100 nm,锥角为60～90°的锐利大锥角探针用于轻敲自激振荡模式的AF/PSTM,该探针固定在压电陶瓷片上置于一个正反馈回路中激励探针振荡.使用锁相器解调自激振荡探针的频率,调整Z方向压电陶瓷的运动使得锁相器检测到的值维持恒定来跟踪样品的起伏.对外加激励模式和自激振荡模式进行了对比.理论分析表明,自激振荡方法减小了探针响应时间;测试试验显示,采用自激振荡模式AF/PSTM的带宽为50 Hz,比外加振荡模式快一个数量级.采用改进后的仪器对光栅样品以1 Hz的速度进行了扫描,扫描结果显示,采用自激振荡的方式得到的形貌和光学图像比外加激励模式更清晰,不仅响应时间更快,通过提高Q值还可以提高分辨率而不会增加系统进入稳态的时间.
介紹瞭採用頻率偏移控製樣品/探針間距的原子力光子掃描隧道組閤顯微鏡(AF/PSTM).製備瞭尖耑直徑＜100 nm,錐角為60～90°的銳利大錐角探針用于輕敲自激振盪模式的AF/PSTM,該探針固定在壓電陶瓷片上置于一箇正反饋迴路中激勵探針振盪.使用鎖相器解調自激振盪探針的頻率,調整Z方嚮壓電陶瓷的運動使得鎖相器檢測到的值維持恆定來跟蹤樣品的起伏.對外加激勵模式和自激振盪模式進行瞭對比.理論分析錶明,自激振盪方法減小瞭探針響應時間;測試試驗顯示,採用自激振盪模式AF/PSTM的帶寬為50 Hz,比外加振盪模式快一箇數量級.採用改進後的儀器對光柵樣品以1 Hz的速度進行瞭掃描,掃描結果顯示,採用自激振盪的方式得到的形貌和光學圖像比外加激勵模式更清晰,不僅響應時間更快,通過提高Q值還可以提高分辨率而不會增加繫統進入穩態的時間.
개소료채용빈솔편이공제양품/탐침간거적원자력광자소묘수도조합현미경(AF/PSTM).제비료첨단직경＜100 nm,추각위60～90°적예리대추각탐침용우경고자격진탕모식적AF/PSTM,해탐침고정재압전도자편상치우일개정반궤회로중격려탐침진탕.사용쇄상기해조자격진탕탐침적빈솔,조정Z방향압전도자적운동사득쇄상기검측도적치유지항정래근종양품적기복.대외가격려모식화자격진탕모식진행료대비.이론분석표명,자격진탕방법감소료탐침향응시간;측시시험현시,채용자격진탕모식AF/PSTM적대관위50 Hz,비외가진탕모식쾌일개수량급.채용개진후적의기대광책양품이1 Hz적속도진행료소묘,소묘결과현시,채용자격진탕적방식득도적형모화광학도상비외가격려모식경청석,불부향응시간경쾌,통과제고Q치환가이제고분변솔이불회증가계통진입은태적시간.
