西华大学学报（自然科学版）
西華大學學報（自然科學版）
서화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIHUA UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
6期
70-72,99
,共4页
张海波%康建波%孙辉%杨定宇%朱兴华
張海波%康建波%孫輝%楊定宇%硃興華
장해파%강건파%손휘%양정우%주흥화
紫外-可见透过谱%薄膜厚度%曲线拟合%程序设计
紫外-可見透過譜%薄膜厚度%麯線擬閤%程序設計
자외-가견투과보%박막후도%곡선의합%정서설계
测试和控制薄膜的厚度是制备高质量薄膜材料的重要步骤之一.本文根据光谱透过率波动曲线与薄膜厚度间的内在联系,基于曲线拟合方法设计开发了一款计算软件,该程序能读取测试光谱数据并自动计算出薄膜厚度和折射率,程序计算结果与台阶仪测试结果吻合较好,证明本文所开发的软件是正确有效的.
測試和控製薄膜的厚度是製備高質量薄膜材料的重要步驟之一.本文根據光譜透過率波動麯線與薄膜厚度間的內在聯繫,基于麯線擬閤方法設計開髮瞭一款計算軟件,該程序能讀取測試光譜數據併自動計算齣薄膜厚度和摺射率,程序計算結果與檯階儀測試結果吻閤較好,證明本文所開髮的軟件是正確有效的.
측시화공제박막적후도시제비고질량박막재료적중요보취지일.본문근거광보투과솔파동곡선여박막후도간적내재련계,기우곡선의합방법설계개발료일관계산연건,해정서능독취측시광보수거병자동계산출박막후도화절사솔,정서계산결과여태계의측시결과문합교호,증명본문소개발적연건시정학유효적.
