CAJ | 학술논문

利用Gibbs自由能判据计算了室温和1000 K温度下Ti-Al体系非晶形成成分区间.计算结果表明,Ti-Al非晶形成区间为10%～80%(原子比)Ti.在计算结果的指导下,设计薄膜的成分区间,利用非平衡多靶溅射沉积开展了Ti-Al非晶薄膜在Si和U基上的形成研究.实验在不同脉冲偏压、沉积速率、基体初始温度下进行,薄膜组元成分通过不同靶材的沉积速率来控制完成.利用X射线衍射、扫描电镜、俄歇分析谱仪分析了薄膜的组织结构、表面及界面形貌和成分区间.结果表明,Ti-Al体系在U基上未能获得非晶薄膜,而在Si基上获得了非晶薄膜.所选工艺下,Si基上Ti-Al非晶薄膜形成的成分区间为25%～40%Ti,60%～75%Al.为了能在U基上获得非晶薄膜,加入了第三组元Ni,成功地获得了Ti-Al-Ni非晶薄膜.
이용Gibbs자유능판거계산료실온화1000 K온도하Ti-Al체계비정형성성분구간.계산결과표명,Ti-Al비정형성구간위10%～80%(원자비)Ti.재계산결과적지도하,설계박막적성분구간,이용비평형다파천사침적개전료Ti-Al비정박막재Si화U기상적형성연구.실험재불동맥충편압、침적속솔、기체초시온도하진행,박막조원성분통과불동파재적침적속솔래공제완성.이용X사선연사、소묘전경、아헐분석보의분석료박막적조직결구、표면급계면형모화성분구간.결과표명,Ti-Al체계재U기상미능획득비정박막,이재Si기상획득료비정박막.소선공예하,Si기상Ti-Al비정박막형성적성분구간위25%～40%Ti,60%～75%Al.위료능재U기상획득비정박막,가입료제삼조원Ni,성공지획득료Ti-Al-Ni비정박막.