河北科技大学学报
河北科技大學學報
하북과기대학학보
JOURNAL OF THE HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND ECHNOLOGY
2011年
2期
115-119
,共5页
岂云开%顾建军%李志文%杨淑敏%王振文%孙会元
豈雲開%顧建軍%李誌文%楊淑敏%王振文%孫會元
기운개%고건군%리지문%양숙민%왕진문%손회원
ZnO薄膜%结构特性%磁控溅射%退火
ZnO薄膜%結構特性%磁控濺射%退火
ZnO박막%결구특성%자공천사%퇴화
采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO薄膜.系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同Al掺杂浓度对薄膜结构的影响.结果显示,Al掺杂ZnO薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响.在氩氧体积比6:1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向.
採用直流反應磁控濺射方法,在玻璃襯底上製備瞭Al摻雜ZnO薄膜.繫統研究瞭不同氬氧體積比、不同退火溫度和氛圍、不同Al摻雜濃度對薄膜結構的影響.結果顯示,Al摻雜ZnO薄膜為多晶薄膜,呈六角纖鋅礦結構,製備條件和後期處理以及摻雜濃度對薄膜的微結構有著很大的影響.在氬氧體積比6:1條件下製備的薄膜,經真空500℃退火後具有較好的結晶和明顯的(002)擇優取嚮.
채용직류반응자공천사방법,재파리츤저상제비료Al참잡ZnO박막.계통연구료불동아양체적비、불동퇴화온도화분위、불동Al참잡농도대박막결구적영향.결과현시,Al참잡ZnO박막위다정박막,정륙각섬자광결구,제비조건화후기처리이급참잡농도대박막적미결구유착흔대적영향.재아양체적비6:1조건하제비적박막,경진공500℃퇴화후구유교호적결정화명현적(002)택우취향.
