光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
8期
1143-1148
,共6页
李帅%吴远大%尹小杰%安俊明%李建光%王红杰%胡雄伟
李帥%吳遠大%尹小傑%安俊明%李建光%王紅傑%鬍雄偉
리수%오원대%윤소걸%안준명%리건광%왕홍걸%호웅위
绝缘硅%微环谐振%热光效应%滤波器%串扰
絕緣硅%微環諧振%熱光效應%濾波器%串擾
절연규%미배해진%열광효응%려파기%천우
采用电子束光刻和感应耦合等离子刻蚀等工艺,研制了一种基于绝缘硅材料的的微环谐振可调谐滤波器.滤波器微环半径为5μm左右,波导截面尺寸为(350～500 nm)×220 nm不等.测试结果表明,波导宽度为450 nm时器件性能最为理想,其自由频谱宽度为16.8 nm,1.55μm波长附近的消光比为22.1 dB.通过对微环滤波器进行热光调制,在21.4℃～60℃温度范围内实现了4.8 nm波长范围的可调谐滤波特性,热光调谐效率达到0.12 nm/℃.研究了基于单环和双环的多通道上下载滤波器,实验结果表明多通道滤波器的信号传输存在串扰,主要是不同信道之间的串扰,尤其在信号上载时,会在相邻信道产生较大串扰.
採用電子束光刻和感應耦閤等離子刻蝕等工藝,研製瞭一種基于絕緣硅材料的的微環諧振可調諧濾波器.濾波器微環半徑為5μm左右,波導截麵呎吋為(350～500 nm)×220 nm不等.測試結果錶明,波導寬度為450 nm時器件性能最為理想,其自由頻譜寬度為16.8 nm,1.55μm波長附近的消光比為22.1 dB.通過對微環濾波器進行熱光調製,在21.4℃～60℃溫度範圍內實現瞭4.8 nm波長範圍的可調諧濾波特性,熱光調諧效率達到0.12 nm/℃.研究瞭基于單環和雙環的多通道上下載濾波器,實驗結果錶明多通道濾波器的信號傳輸存在串擾,主要是不同信道之間的串擾,尤其在信號上載時,會在相鄰信道產生較大串擾.
채용전자속광각화감응우합등리자각식등공예,연제료일충기우절연규재료적적미배해진가조해려파기.려파기미배반경위5μm좌우,파도절면척촌위(350～500 nm)×220 nm불등.측시결과표명,파도관도위450 nm시기건성능최위이상,기자유빈보관도위16.8 nm,1.55μm파장부근적소광비위22.1 dB.통과대미배려파기진행열광조제,재21.4℃～60℃온도범위내실현료4.8 nm파장범위적가조해려파특성,열광조해효솔체도0.12 nm/℃.연구료기우단배화쌍배적다통도상하재려파기,실험결과표명다통도려파기적신호전수존재천우,주요시불동신도지간적천우,우기재신호상재시,회재상린신도산생교대천우.
