稀有金属快报
稀有金屬快報
희유금속쾌보
Rare Metals Letters
2005年
3期
28-30
,共3页
刘高建%杜继红%李争显%周慧
劉高建%杜繼紅%李爭顯%週慧
류고건%두계홍%리쟁현%주혜
化学气相沉积%石墨%钨涂层%流量比
化學氣相沉積%石墨%鎢塗層%流量比
화학기상침적%석묵%오도층%류량비
研究了在一定温度的石墨基体表面上用化学气相沉积钨涂层的方法.通过调节氢气、氯气的气流量,控制流量比,得到了具有一定厚度、晶粒均匀致密的钨涂层,并对试验中仍需解决的问题做了讨论.
研究瞭在一定溫度的石墨基體錶麵上用化學氣相沉積鎢塗層的方法.通過調節氫氣、氯氣的氣流量,控製流量比,得到瞭具有一定厚度、晶粒均勻緻密的鎢塗層,併對試驗中仍需解決的問題做瞭討論.
연구료재일정온도적석묵기체표면상용화학기상침적오도층적방법.통과조절경기、록기적기류량,공제류량비,득도료구유일정후도、정립균균치밀적오도층,병대시험중잉수해결적문제주료토론.
