人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2003年
3期
252-256
,共5页
李超%曹传宝%朱鹤孙%吕强%张加涛%项顼
李超%曹傳寶%硃鶴孫%呂彊%張加濤%項頊
리초%조전보%주학손%려강%장가도%항욱
电化学沉积%氮化碳%CNx薄膜%g-C3N4
電化學沉積%氮化碳%CNx薄膜%g-C3N4
전화학침적%담화탄%CNx박막%g-C3N4
用1:1.5的三聚氯氰和三聚氰胺的饱和乙腈溶液为沉积液,在Si(100)衬底上室温常压下电化学沉积了CNx薄膜.用X射线光电子能谱(XPS)、傅立叶转换红外光谱(FTIR)、X射线衍射图谱(XRD)对沉积的CNx薄膜进行了测试和分析.XRD的衍射峰的结构数据与文献计算的类石墨相氮化碳的结构数据较为吻合.XPS结果表明沉积的薄膜中主要元素为C、N,且N/C=0.81,C1s和N1s的结合能谱中287.84eV的碳和400.00eV的氮是样品中碳氮的主体,以C3N3杂环的形式存在.FTIR光谱中在800cm-1、1310cm-1和1610cm-1的吸收峰也表明薄膜中存在C3N3环,和XPS能谱的分析结果一致.Teter和Hemley预言的g-C3N4在结构形式上和三聚氰胺的完美脱胺缩聚物是一样的,红外光谱和X射线光电子能谱表明在样品中存在三嗪环(C3N3),支持XRD的实验结果.这说明CNx薄膜中有类石墨相的C3N4晶体存在.
用1:1.5的三聚氯氰和三聚氰胺的飽和乙腈溶液為沉積液,在Si(100)襯底上室溫常壓下電化學沉積瞭CNx薄膜.用X射線光電子能譜(XPS)、傅立葉轉換紅外光譜(FTIR)、X射線衍射圖譜(XRD)對沉積的CNx薄膜進行瞭測試和分析.XRD的衍射峰的結構數據與文獻計算的類石墨相氮化碳的結構數據較為吻閤.XPS結果錶明沉積的薄膜中主要元素為C、N,且N/C=0.81,C1s和N1s的結閤能譜中287.84eV的碳和400.00eV的氮是樣品中碳氮的主體,以C3N3雜環的形式存在.FTIR光譜中在800cm-1、1310cm-1和1610cm-1的吸收峰也錶明薄膜中存在C3N3環,和XPS能譜的分析結果一緻.Teter和Hemley預言的g-C3N4在結構形式上和三聚氰胺的完美脫胺縮聚物是一樣的,紅外光譜和X射線光電子能譜錶明在樣品中存在三嗪環(C3N3),支持XRD的實驗結果.這說明CNx薄膜中有類石墨相的C3N4晶體存在.
용1:1.5적삼취록청화삼취청알적포화을정용액위침적액,재Si(100)츤저상실온상압하전화학침적료CNx박막.용X사선광전자능보(XPS)、부립협전환홍외광보(FTIR)、X사선연사도보(XRD)대침적적CNx박막진행료측시화분석.XRD적연사봉적결구수거여문헌계산적류석묵상담화탄적결구수거교위문합.XPS결과표명침적적박막중주요원소위C、N,차N/C=0.81,C1s화N1s적결합능보중287.84eV적탄화400.00eV적담시양품중탄담적주체,이C3N3잡배적형식존재.FTIR광보중재800cm-1、1310cm-1화1610cm-1적흡수봉야표명박막중존재C3N3배,화XPS능보적분석결과일치.Teter화Hemley예언적g-C3N4재결구형식상화삼취청알적완미탈알축취물시일양적,홍외광보화X사선광전자능보표명재양품중존재삼진배(C3N3),지지XRD적실험결과.저설명CNx박막중유류석묵상적C3N4정체존재.
