电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2003年
5期
210-213
,共4页
蒋振新%丁桂甫%杨春生%倪智萍%张永华
蔣振新%丁桂甫%楊春生%倪智萍%張永華
장진신%정계보%양춘생%예지평%장영화
高深宽比光刻胶结构%熔融成型%二次涂胶定型%微弯曲面%任意形状表面
高深寬比光刻膠結構%鎔融成型%二次塗膠定型%微彎麯麵%任意形狀錶麵
고심관비광각효결구%용융성형%이차도효정형%미만곡면%임의형상표면
熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺-多线成面技术.此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点.
鎔融圖形化的光刻膠是三維麯麵微結構加工的常用方法,但是,一次成型的鎔膠工藝製作的彎麯麵麯率半徑較小,為此我們提齣瞭一種藉助二次鎔膠工藝實現微彎麯麵成型的新工藝-多線成麵技術.此方法工藝簡單,一般具備光刻條件的實驗室就能夠實現,與傳統工藝兼容性好,用它製作的彎麯麵可以與灰階掩膜光刻相比擬,介紹瞭該工藝的原理和特點.
용융도형화적광각효시삼유곡면미결구가공적상용방법,단시,일차성형적용효공예제작적만곡면곡솔반경교소,위차아문제출료일충차조이차용효공예실현미만곡면성형적신공예-다선성면기술.차방법공예간단,일반구비광각조건적실험실취능구실현,여전통공예겸용성호,용타제작적만곡면가이여회계엄막광각상비의,개소료해공예적원리화특점.
