工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2005年
9期
3-6
,共4页
葛培琪%孟剑锋%陈举华%章亮炽
葛培琪%孟劍鋒%陳舉華%章亮熾
갈배기%맹검봉%진거화%장량치
集成电路%单晶硅%精密切片%晶片
集成電路%單晶硅%精密切片%晶片
집성전로%단정규%정밀절편%정편
分析了目前硅晶体切片技术的特点和现状,综述了相关基础研究,指出了未来的发展趋势和研究热点.
分析瞭目前硅晶體切片技術的特點和現狀,綜述瞭相關基礎研究,指齣瞭未來的髮展趨勢和研究熱點.
분석료목전규정체절편기술적특점화현상,종술료상관기출연구,지출료미래적발전추세화연구열점.
