光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2009年
1期
138-140,144
,共4页
王多书%罗崇泰%陈焘%刘宏开%叶子煜
王多書%囉崇泰%陳燾%劉宏開%葉子煜
왕다서%라숭태%진도%류굉개%협자욱
激光直写%连续衍射元件%能量表征
激光直寫%連續衍射元件%能量錶徵
격광직사%련속연사원건%능량표정
采用激光直写法制作连续衍射光学元件,具有过程简单、周期短、成本低等优点.介绍了极坐标激光直写法制作圆对称连续衍射元件的原理.通过实验,研究了衍射微结构深度与激光功率、曝光位置半径与激光功率的关系.实验结果显示,在相同曝光位置半径条件下,微结构深度与激光功率呈正比;在相同微结构深度条件下,曝光位置半径与激光功率呈正比.分析总结出了极坐标激光直写法制作圆对称连续衍射元件的能量表征方法,并采用该方法成功制作了圆对称连续衍射聚光透镜掩模.
採用激光直寫法製作連續衍射光學元件,具有過程簡單、週期短、成本低等優點.介紹瞭極坐標激光直寫法製作圓對稱連續衍射元件的原理.通過實驗,研究瞭衍射微結構深度與激光功率、曝光位置半徑與激光功率的關繫.實驗結果顯示,在相同曝光位置半徑條件下,微結構深度與激光功率呈正比;在相同微結構深度條件下,曝光位置半徑與激光功率呈正比.分析總結齣瞭極坐標激光直寫法製作圓對稱連續衍射元件的能量錶徵方法,併採用該方法成功製作瞭圓對稱連續衍射聚光透鏡掩模.
채용격광직사법제작련속연사광학원건,구유과정간단、주기단、성본저등우점.개소료겁좌표격광직사법제작원대칭련속연사원건적원리.통과실험,연구료연사미결구심도여격광공솔、폭광위치반경여격광공솔적관계.실험결과현시,재상동폭광위치반경조건하,미결구심도여격광공솔정정비;재상동미결구심도조건하,폭광위치반경여격광공솔정정비.분석총결출료겁좌표격광직사법제작원대칭련속연사원건적능량표정방법,병채용해방법성공제작료원대칭련속연사취광투경엄모.
