化工新型材料
化工新型材料
화공신형재료
NEW CHEMICAL MATERIALS
2009年
3期
83-85,90
,共4页
溶胶-凝胶%ZnO%薄膜%光学性质%UV-Vis%带隙
溶膠-凝膠%ZnO%薄膜%光學性質%UV-Vis%帶隙
용효-응효%ZnO%박막%광학성질%UV-Vis%대극
采用溶胶一凝胶法在普通化玻片上制备出高C轴择优取向的ZnO薄膜,深入研究了溶胶浓度、甩膜层数、退火温度对薄膜相结构、晶粒定向生长和紫外光吸收与可见光透射特性的影响.实验发现,在300～600℃退火范围之内,随着退火温度的升高,薄膜晶粒生长取向性增强,晶粒尺寸增大;用Zn含量为0.5mol/L的溶胶使用旋涂法甩膜和经过预热处理的5层膜再经过550℃退火1h后所形成的薄膜晶粒沿C轴高度择优取向,结构系数Tc(002)达到5.1,该薄膜的平均透射率为90%.
採用溶膠一凝膠法在普通化玻片上製備齣高C軸擇優取嚮的ZnO薄膜,深入研究瞭溶膠濃度、甩膜層數、退火溫度對薄膜相結構、晶粒定嚮生長和紫外光吸收與可見光透射特性的影響.實驗髮現,在300～600℃退火範圍之內,隨著退火溫度的升高,薄膜晶粒生長取嚮性增彊,晶粒呎吋增大;用Zn含量為0.5mol/L的溶膠使用鏇塗法甩膜和經過預熱處理的5層膜再經過550℃退火1h後所形成的薄膜晶粒沿C軸高度擇優取嚮,結構繫數Tc(002)達到5.1,該薄膜的平均透射率為90%.
채용용효일응효법재보통화파편상제비출고C축택우취향적ZnO박막,심입연구료용효농도、솔막층수、퇴화온도대박막상결구、정립정향생장화자외광흡수여가견광투사특성적영향.실험발현,재300～600℃퇴화범위지내,수착퇴화온도적승고,박막정립생장취향성증강,정립척촌증대;용Zn함량위0.5mol/L적용효사용선도법솔막화경과예열처리적5층막재경과550℃퇴화1h후소형성적박막정립연C축고도택우취향,결구계수Tc(002)체도5.1,해박막적평균투사솔위90%.
