测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2010年
1期
78-83
,共6页
李晓轲%王晓东%佘东生%张涛%王立鼎
李曉軻%王曉東%佘東生%張濤%王立鼎
리효가%왕효동%사동생%장도%왕립정
MEMS%动态特性测试%高温%放电激励%激光多普勒测振仪
MEMS%動態特性測試%高溫%放電激勵%激光多普勒測振儀
MEMS%동태특성측시%고온%방전격려%격광다보륵측진의
基于放电激励方法建立了高温环境下 MEMS 微构件动态特性测试系统, 该系统主要由激励装置、激光多普勒测振仪、微构件温度控制系统组成. 激励装置利用尖端放电产生的激波激励微构件, 通过进给机构调节电极间距以改变激励能量. 激励底座是用高温胶粘接而构成的多层结构, 包括微构件安装板、十字载台、陶瓷绝缘片和板电极. 微构件胶粘在底座上, 其振动响应信号由多普勒测振仪测量, 计算机对测量数据频谱分析后得到谐振频率. 编写了基于 LabVIEW 的微构件温度控制软件, 控制测试时温度. 利用该测试系统, 测试了微构件在室温～500 ℃环境下的谐振频率, 得到了谐振频率随温度变化规律.
基于放電激勵方法建立瞭高溫環境下 MEMS 微構件動態特性測試繫統, 該繫統主要由激勵裝置、激光多普勒測振儀、微構件溫度控製繫統組成. 激勵裝置利用尖耑放電產生的激波激勵微構件, 通過進給機構調節電極間距以改變激勵能量. 激勵底座是用高溫膠粘接而構成的多層結構, 包括微構件安裝闆、十字載檯、陶瓷絕緣片和闆電極. 微構件膠粘在底座上, 其振動響應信號由多普勒測振儀測量, 計算機對測量數據頻譜分析後得到諧振頻率. 編寫瞭基于 LabVIEW 的微構件溫度控製軟件, 控製測試時溫度. 利用該測試繫統, 測試瞭微構件在室溫～500 ℃環境下的諧振頻率, 得到瞭諧振頻率隨溫度變化規律.
기우방전격려방법건립료고온배경하 MEMS 미구건동태특성측시계통, 해계통주요유격려장치、격광다보륵측진의、미구건온도공제계통조성. 격려장치이용첨단방전산생적격파격려미구건, 통과진급궤구조절전겁간거이개변격려능량. 격려저좌시용고온효점접이구성적다층결구, 포괄미구건안장판、십자재태、도자절연편화판전겁. 미구건효점재저좌상, 기진동향응신호유다보륵측진의측량, 계산궤대측량수거빈보분석후득도해진빈솔. 편사료기우 LabVIEW 적미구건온도공제연건, 공제측시시온도. 이용해측시계통, 측시료미구건재실온～500 ℃배경하적해진빈솔, 득도료해진빈솔수온도변화규률.
