压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
4期
582-584
,共3页
胡自%凌宁%潘君骅%姜文汉
鬍自%凌寧%潘君驊%薑文漢
호자%릉저%반군화%강문한
非球面镜%非球面变形抛光盘%变形%有限元分析
非毬麵鏡%非毬麵變形拋光盤%變形%有限元分析
비구면경%비구면변형포광반%변형%유한원분석
基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光盘,能在驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工.一个口径ф100 mm、含19个驱动器的非球面变形抛光盘已试制完毕,用于一个口径ф350 mm、非球面系数k=-1.112 155、顶点半径R=840 mm双曲面镜的加工实验.为研究基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光盘输出面形的精度,计算当非球面变形抛光盘中心到非球面工件中心距离L分别为90 mm、100 mm、110 mm、120 mm和130 mm时,非球面变形抛光盘所需变形量;并利用有限元分析法仿真计算得到,非球面变形抛光盘输出面形的剩余残差(RMS)相应分别为0.298 μm、0.279 μm、0.279μm、0.329 μm、0.447μm.结果表明,变形抛光盘能以较高精度产生非球面面形,可用于非球面镜加工.
基于壓電陶瓷驅動器的非毬麵變形拋光盤,能在驅動器的作用下改變麵形,用于中小口徑非毬麵鏡加工.一箇口徑ф100 mm、含19箇驅動器的非毬麵變形拋光盤已試製完畢,用于一箇口徑ф350 mm、非毬麵繫數k=-1.112 155、頂點半徑R=840 mm雙麯麵鏡的加工實驗.為研究基于壓電陶瓷驅動器的非毬麵變形拋光盤輸齣麵形的精度,計算噹非毬麵變形拋光盤中心到非毬麵工件中心距離L分彆為90 mm、100 mm、110 mm、120 mm和130 mm時,非毬麵變形拋光盤所需變形量;併利用有限元分析法倣真計算得到,非毬麵變形拋光盤輸齣麵形的剩餘殘差(RMS)相應分彆為0.298 μm、0.279 μm、0.279μm、0.329 μm、0.447μm.結果錶明,變形拋光盤能以較高精度產生非毬麵麵形,可用于非毬麵鏡加工.
기우압전도자구동기적비구면변형포광반,능재구동기적작용하개변면형,용우중소구경비구면경가공.일개구경ф100 mm、함19개구동기적비구면변형포광반이시제완필,용우일개구경ф350 mm、비구면계수k=-1.112 155、정점반경R=840 mm쌍곡면경적가공실험.위연구기우압전도자구동기적비구면변형포광반수출면형적정도,계산당비구면변형포광반중심도비구면공건중심거리L분별위90 mm、100 mm、110 mm、120 mm화130 mm시,비구면변형포광반소수변형량;병이용유한원분석법방진계산득도,비구면변형포광반수출면형적잉여잔차(RMS)상응분별위0.298 μm、0.279 μm、0.279μm、0.329 μm、0.447μm.결과표명,변형포광반능이교고정도산생비구면면형,가용우비구면경가공.
