光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
9期
2109-2115
,共7页
裘祖荣%魏芳坤%谢利勤%李杏华%肖功剑
裘祖榮%魏芳坤%謝利勤%李杏華%肖功劍
구조영%위방곤%사리근%리행화%초공검
位移测量%共焦测头%时间差%相似形态分析%光电信号
位移測量%共焦測頭%時間差%相似形態分析%光電信號
위이측량%공초측두%시간차%상사형태분석%광전신호
基于时间差法的共焦测头测量的位移量是测头输出的光电信号中相邻驼峰之间对应时间差的一一映射.为了更加准确稳定地计算出光电信号中的时间差,本文分析了改进后测头输出光电信号的特点,指出了目前信号处理方法的缺陷,进而提出了相似形态分析法,用于计算相邻驼峰之间对应的时间间隔.实验数据显示,在采样频率为2 MHz的数据采集系统中,使用相似形态分析法计算得到的时间间隔的标准差为0.33 μs,高于最大值法的3.37 μs.结果表明,相似形态分析法计算结果准确,不受噪声的影响,对信号的前期处理要求低,易于实现,计算结果稳定且不受激光光强变动的影响和环境光的干扰.
基于時間差法的共焦測頭測量的位移量是測頭輸齣的光電信號中相鄰駝峰之間對應時間差的一一映射.為瞭更加準確穩定地計算齣光電信號中的時間差,本文分析瞭改進後測頭輸齣光電信號的特點,指齣瞭目前信號處理方法的缺陷,進而提齣瞭相似形態分析法,用于計算相鄰駝峰之間對應的時間間隔.實驗數據顯示,在採樣頻率為2 MHz的數據採集繫統中,使用相似形態分析法計算得到的時間間隔的標準差為0.33 μs,高于最大值法的3.37 μs.結果錶明,相似形態分析法計算結果準確,不受譟聲的影響,對信號的前期處理要求低,易于實現,計算結果穩定且不受激光光彊變動的影響和環境光的榦擾.
기우시간차법적공초측두측량적위이량시측두수출적광전신호중상린타봉지간대응시간차적일일영사.위료경가준학은정지계산출광전신호중적시간차,본문분석료개진후측두수출광전신호적특점,지출료목전신호처리방법적결함,진이제출료상사형태분석법,용우계산상린타봉지간대응적시간간격.실험수거현시,재채양빈솔위2 MHz적수거채집계통중,사용상사형태분석법계산득도적시간간격적표준차위0.33 μs,고우최대치법적3.37 μs.결과표명,상사형태분석법계산결과준학,불수조성적영향,대신호적전기처리요구저,역우실현,계산결과은정차불수격광광강변동적영향화배경광적간우.
