传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
9期
85-87
,共3页
周文%闫学锋%侯成诚%李冬梅%刘明%陈军宁
週文%閆學鋒%侯成誠%李鼕梅%劉明%陳軍寧
주문%염학봉%후성성%리동매%류명%진군저
声表面波%聚苯胺%多壁碳纳米管%气体传感器%NO2
聲錶麵波%聚苯胺%多壁碳納米管%氣體傳感器%NO2
성표면파%취분알%다벽탄납미관%기체전감기%NO2
将聚苯胺-多壁碳纳米管聚合物沉积于声表面波(SAW)气体传感器的敏感区,形成敏感薄膜,实现了室温下对不同体积分数NO2的检测.研究表明:这种传感器具有很高的敏感性,良好的重复性和低体积分数检测极限.同时,单一聚苯胺薄膜也做了对比测量,实验结果表明:聚苯胺-多壁碳纳米管聚合物敏感膜比单一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢复时间.
將聚苯胺-多壁碳納米管聚閤物沉積于聲錶麵波(SAW)氣體傳感器的敏感區,形成敏感薄膜,實現瞭室溫下對不同體積分數NO2的檢測.研究錶明:這種傳感器具有很高的敏感性,良好的重複性和低體積分數檢測極限.同時,單一聚苯胺薄膜也做瞭對比測量,實驗結果錶明:聚苯胺-多壁碳納米管聚閤物敏感膜比單一聚苯胺薄膜具有更高的敏感性和更短的恢複時間.
장취분알-다벽탄납미관취합물침적우성표면파(SAW)기체전감기적민감구,형성민감박막,실현료실온하대불동체적분수NO2적검측.연구표명:저충전감기구유흔고적민감성,량호적중복성화저체적분수검측겁한.동시,단일취분알박막야주료대비측량,실험결과표명:취분알-다벽탄납미관취합물민감막비단일취분알박막구유경고적민감성화경단적회복시간.
