东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2011年
4期
68-73
,共6页
制绒工艺%腐蚀深度%金字塔结构
製絨工藝%腐蝕深度%金字塔結構
제융공예%부식심도%금자탑결구
制绒工艺是晶硅太阳能电池产业化研究的重要方向之一.本文对德国Rena公司的湿法腐蚀制绒设备进行了工艺流程的简要概括,在产业化环境中对硅片表面的化学处理工艺进行了研究.通过研究分析,自制的GP溶液能有效的降低溶液表面张力并改善单晶硅片表面的浸润效果；湿法腐蚀后,硅片表面绒面结构清晰,金字塔形状均匀,底座大小在2～3μm左右；由腐蚀深度变化曲线分析可知,各腐蚀槽腐蚀深度值92％都集中在7.5～8.5之间,接近最优化腐蚀深度,碎片率低于5‰.
製絨工藝是晶硅太暘能電池產業化研究的重要方嚮之一.本文對德國Rena公司的濕法腐蝕製絨設備進行瞭工藝流程的簡要概括,在產業化環境中對硅片錶麵的化學處理工藝進行瞭研究.通過研究分析,自製的GP溶液能有效的降低溶液錶麵張力併改善單晶硅片錶麵的浸潤效果；濕法腐蝕後,硅片錶麵絨麵結構清晰,金字塔形狀均勻,底座大小在2～3μm左右；由腐蝕深度變化麯線分析可知,各腐蝕槽腐蝕深度值92％都集中在7.5～8.5之間,接近最優化腐蝕深度,碎片率低于5‰.
제융공예시정규태양능전지산업화연구적중요방향지일.본문대덕국Rena공사적습법부식제융설비진행료공예류정적간요개괄,재산업화배경중대규편표면적화학처리공예진행료연구.통과연구분석,자제적GP용액능유효적강저용액표면장력병개선단정규편표면적침윤효과；습법부식후,규편표면융면결구청석,금자탑형상균균,저좌대소재2～3μm좌우；유부식심도변화곡선분석가지,각부식조부식심도치92％도집중재7.5～8.5지간,접근최우화부식심도,쇄편솔저우5‰.
