硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2012年
2期
271-274,284
,共5页
薄膜%纳米硬度%弹性模量%摩擦系数%磨损
薄膜%納米硬度%彈性模量%摩抆繫數%磨損
박막%납미경도%탄성모량%마찰계수%마손
采用磁控溅射法在Si基片上沉积非晶态Ta-C-N薄膜.利用纳米压痕仪表征其纳米硬度和弹性模量；摩擦磨损实验检测其摩擦学性能；光学轮廓仪和扫描电镜观察磨痕形貌.结果表明:Ta-C-N薄膜具有较高的纳米硬度9.45 GPa和弹性模量225.71 GPa,同时具有较低的摩擦系数0.238,磨损率5.94×10-6mm3 ·N-1·m-1,磨面较为平整光滑,体现了优越的摩擦磨损性能.
採用磁控濺射法在Si基片上沉積非晶態Ta-C-N薄膜.利用納米壓痕儀錶徵其納米硬度和彈性模量；摩抆磨損實驗檢測其摩抆學性能；光學輪廓儀和掃描電鏡觀察磨痕形貌.結果錶明:Ta-C-N薄膜具有較高的納米硬度9.45 GPa和彈性模量225.71 GPa,同時具有較低的摩抆繫數0.238,磨損率5.94×10-6mm3 ·N-1·m-1,磨麵較為平整光滑,體現瞭優越的摩抆磨損性能.
채용자공천사법재Si기편상침적비정태Ta-C-N박막.이용납미압흔의표정기납미경도화탄성모량；마찰마손실험검측기마찰학성능；광학륜곽의화소묘전경관찰마흔형모.결과표명:Ta-C-N박막구유교고적납미경도9.45 GPa화탄성모량225.71 GPa,동시구유교저적마찰계수0.238,마손솔5.94×10-6mm3 ·N-1·m-1,마면교위평정광활,체현료우월적마찰마손성능.
