微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
5期
40-44
,共5页
微纳技术%微纳定位/进给%微纳位移发生/驱动器
微納技術%微納定位/進給%微納位移髮生/驅動器
미납기술%미납정위/진급%미납위이발생/구동기
微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术.它同时也是微纳科学技术走向产业化的前提.本文就当前几种典型的微纳定位/进给技术做一个总结,分析了各种定位/进给机构的定位/进给原理和具体结构,指出了存在的问题和可能的解决方法.
微納定位/進給技術是微納科學技術、微電子工程、航空航天等領域的關鍵基礎技術.它同時也是微納科學技術走嚮產業化的前提.本文就噹前幾種典型的微納定位/進給技術做一箇總結,分析瞭各種定位/進給機構的定位/進給原理和具體結構,指齣瞭存在的問題和可能的解決方法.
미납정위/진급기술시미납과학기술、미전자공정、항공항천등영역적관건기출기술.타동시야시미납과학기술주향산업화적전제.본문취당전궤충전형적미납정위/진급기술주일개총결,분석료각충정위/진급궤구적정위/진급원리화구체결구,지출료존재적문제화가능적해결방법.
