传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1462-1465
,共4页
史明甫%焦继伟%包晓清%冯飞%杨恒%李铁%王跃林
史明甫%焦繼偉%包曉清%馮飛%楊恆%李鐵%王躍林
사명보%초계위%포효청%풍비%양항%리철%왕약림
微/纳机械系统%纳米沟道%离子束刻蚀
微/納機械繫統%納米溝道%離子束刻蝕
미/납궤계계통%납미구도%리자속각식
研究了一种新颖的基于MEMS工艺中离子束刻蚀的纳米沟道制备技术,通过研究离子束刻蚀微米级线条时,离子束刻蚀角度与刻蚀的轮廓形状之间的关系,在2μm线条内刻蚀出纳米沟道所需要的掩模图形,并结合KOH的各向异性腐蚀,成功获得了纳米沟道阵列.在两种不同的离子束刻蚀条件下,在2 μm图形内分别制备出单纳米沟道和双纳米沟道,最小宽度可达440 nm.
研究瞭一種新穎的基于MEMS工藝中離子束刻蝕的納米溝道製備技術,通過研究離子束刻蝕微米級線條時,離子束刻蝕角度與刻蝕的輪廓形狀之間的關繫,在2μm線條內刻蝕齣納米溝道所需要的掩模圖形,併結閤KOH的各嚮異性腐蝕,成功穫得瞭納米溝道陣列.在兩種不同的離子束刻蝕條件下,在2 μm圖形內分彆製備齣單納米溝道和雙納米溝道,最小寬度可達440 nm.
연구료일충신영적기우MEMS공예중리자속각식적납미구도제비기술,통과연구리자속각식미미급선조시,리자속각식각도여각식적륜곽형상지간적관계,재2μm선조내각식출납미구도소수요적엄모도형,병결합KOH적각향이성부식,성공획득료납미구도진렬.재량충불동적리자속각식조건하,재2 μm도형내분별제비출단납미구도화쌍납미구도,최소관도가체440 nm.
