中南大学学报（自然科学版）
中南大學學報（自然科學版）
중남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL SOUTH UNIVERSITY
2006年
6期
1132-1136
,共5页
掺铝氧化锌薄膜%透射率%电阻率
摻鋁氧化鋅薄膜%透射率%電阻率
참려양화자박막%투사솔%전조솔
采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备掺铝氧化锌薄膜,研究不同工艺参数对薄膜组织结构、光学性质和电学性质的影响.从薄膜的结构、载流子浓度和迁移率等方面分析掺铝氧化锌薄膜的透射率和电阻率的变化机理.研究结果表明:掺铝氧化锌薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长,衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率和透射率具有很大影响.在衬底温度为200 ℃、氧气与氩气的分压比为1%时,薄膜具有最优电阻率和平均透射率,分别达到1.13×10-3 Ω·cm和86.5%.
採用直流磁控濺射技術,以氧化鋅鋁陶瓷靶為靶材,在玻璃襯底上製備摻鋁氧化鋅薄膜,研究不同工藝參數對薄膜組織結構、光學性質和電學性質的影響.從薄膜的結構、載流子濃度和遷移率等方麵分析摻鋁氧化鋅薄膜的透射率和電阻率的變化機理.研究結果錶明:摻鋁氧化鋅薄膜具有六角纖鋅礦結構且呈c軸擇優取嚮,晶粒垂直于襯底方嚮柱狀生長,襯底溫度和氧分壓對薄膜的電阻率和透射率具有很大影響.在襯底溫度為200 ℃、氧氣與氬氣的分壓比為1%時,薄膜具有最優電阻率和平均透射率,分彆達到1.13×10-3 Ω·cm和86.5%.
채용직류자공천사기술,이양화자려도자파위파재,재파리츤저상제비참려양화자박막,연구불동공예삼수대박막조직결구、광학성질화전학성질적영향.종박막적결구、재류자농도화천이솔등방면분석참려양화자박막적투사솔화전조솔적변화궤리.연구결과표명:참려양화자박막구유륙각섬자광결구차정c축택우취향,정립수직우츤저방향주상생장,츤저온도화양분압대박막적전조솔화투사솔구유흔대영향.재츤저온도위200 ℃、양기여아기적분압비위1%시,박막구유최우전조솔화평균투사솔,분별체도1.13×10-3 Ω·cm화86.5%.
