真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
1-5
,共5页
王三坡%沈杰%章壮健%杨锡良%张群
王三坡%瀋傑%章壯健%楊錫良%張群
왕삼파%침걸%장장건%양석량%장군
掺钼氧化锌(ZMO)薄膜%磁控溅射%电阻率%透射率
摻鉬氧化鋅(ZMO)薄膜%磁控濺射%電阻率%透射率
참목양화자(ZMO)박막%자공천사%전조솔%투사솔
采用直流磁控反应溅射技术成功制备了新型ZnO:Mo(ZMO)透明导电薄膜.研究了钼掺杂量和基片温度等参数对ZMO薄膜结构和光电性能的影响.结果表明,薄膜的结构和光电性能与钼含量以及基片温度有关.x光衍射图谱(XRD)显示薄膜具有六角纤锌矿结构,并且在基片温度为200℃,钼含量(Mo/Zn+Mo)为1.5wt%时薄膜具有较好的c轴取向.制备出的ZMO薄膜最低电阻率为1.97×10-3 Ω·cm,相应载流子迁移率达37.0 cm2V-1s-1,载流子浓度为8.57×1019 cm-3,在可见光区域的平均透射率达到80%左右.
採用直流磁控反應濺射技術成功製備瞭新型ZnO:Mo(ZMO)透明導電薄膜.研究瞭鉬摻雜量和基片溫度等參數對ZMO薄膜結構和光電性能的影響.結果錶明,薄膜的結構和光電性能與鉬含量以及基片溫度有關.x光衍射圖譜(XRD)顯示薄膜具有六角纖鋅礦結構,併且在基片溫度為200℃,鉬含量(Mo/Zn+Mo)為1.5wt%時薄膜具有較好的c軸取嚮.製備齣的ZMO薄膜最低電阻率為1.97×10-3 Ω·cm,相應載流子遷移率達37.0 cm2V-1s-1,載流子濃度為8.57×1019 cm-3,在可見光區域的平均透射率達到80%左右.
채용직류자공반응천사기술성공제비료신형ZnO:Mo(ZMO)투명도전박막.연구료목참잡량화기편온도등삼수대ZMO박막결구화광전성능적영향.결과표명,박막적결구화광전성능여목함량이급기편온도유관.x광연사도보(XRD)현시박막구유륙각섬자광결구,병차재기편온도위200℃,목함량(Mo/Zn+Mo)위1.5wt%시박막구유교호적c축취향.제비출적ZMO박막최저전조솔위1.97×10-3 Ω·cm,상응재류자천이솔체37.0 cm2V-1s-1,재류자농도위8.57×1019 cm-3,재가견광구역적평균투사솔체도80%좌우.
