CAJ | 학술논문

为了给实际的纳米光刻对准工作提供理论研究基础,主要分析推导了莫尔条纹复振幅以及光强的空间分布规律.在理论分析的基础上通过仿真,定量地确定了莫尔条纹复振幅分布的近似数学模型.分析表明,当对准光路通过掩模硅片上的两个对准标记受到两次光栅的调制并发生复杂的衍射和干涉时,将形成有规律的、呈一定周期分布的莫尔条纹.并且当两光栅周期相近时,莫尔条纹将表现为一个与两光栅周期相关的空间拍信号.在近似模型中该拍信号主要由两光栅基频的乘积调制与振幅调制信号组成.两调制信号的群峰值周期相等、与拍信号的群峰值周期一致,并且该周期相对于两光栅周期被大幅度放大,因而具有很好的位移探测灵敏度,有利于纳米级对准的实际应用.
위료급실제적납미광각대준공작제공이론연구기출,주요분석추도료막이조문복진폭이급광강적공간분포규률.재이론분석적기출상통과방진,정량지학정료막이조문복진폭분포적근사수학모형.분석표명,당대준광로통과엄모규편상적량개대준표기수도량차광책적조제병발생복잡적연사화간섭시,장형성유규률적、정일정주기분포적막이조문.병차당량광책주기상근시,막이조문장표현위일개여량광책주기상관적공간박신호.재근사모형중해박신호주요유량광책기빈적승적조제여진폭조제신호조성.량조제신호적군봉치주기상등、여박신호적군봉치주기일치,병차해주기상대우량광책주기피대폭도방대,인이구유흔호적위이탐측령민도,유리우납미급대준적실제응용.