北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2008年
10期
1169-1173,1193
,共6页
尹少武%王立%孙淑凤%童莉葛
尹少武%王立%孫淑鳳%童莉葛
윤소무%왕립%손숙봉%동리갈
氮化硅%悬浮床%热过程%数学模型%数值模拟
氮化硅%懸浮床%熱過程%數學模型%數值模擬
담화규%현부상%열과정%수학모형%수치모의
针对基于流态化技术利用硅粉直接氮化合成氮化硅粉的新工艺,建立了悬浮床内热过程的二维数学模型,并借助CFD商业软件FLUENT对悬浮床内热过程进行了数值模拟,分析了氮气速度、粉气比和氮化温度等因素对温度场和硅转化率的影响. 结果表明,模拟计算值与实验值误差小于5%,该模型可以用来预测悬浮床内的热过程. 在本文条件下,当以平均粒径2.7μm的硅粉为原料、氮化温度为1380℃、氮化时间为54.5s时,硅的转化率为22.5%. 模型预测表明,如果将氮化温度升至1450℃、氮化时间延长至7.1min,那么硅转化率可达98.6%,氮化硅纯度达98%以上.
針對基于流態化技術利用硅粉直接氮化閤成氮化硅粉的新工藝,建立瞭懸浮床內熱過程的二維數學模型,併藉助CFD商業軟件FLUENT對懸浮床內熱過程進行瞭數值模擬,分析瞭氮氣速度、粉氣比和氮化溫度等因素對溫度場和硅轉化率的影響. 結果錶明,模擬計算值與實驗值誤差小于5%,該模型可以用來預測懸浮床內的熱過程. 在本文條件下,噹以平均粒徑2.7μm的硅粉為原料、氮化溫度為1380℃、氮化時間為54.5s時,硅的轉化率為22.5%. 模型預測錶明,如果將氮化溫度升至1450℃、氮化時間延長至7.1min,那麽硅轉化率可達98.6%,氮化硅純度達98%以上.
침대기우류태화기술이용규분직접담화합성담화규분적신공예,건립료현부상내열과정적이유수학모형,병차조CFD상업연건FLUENT대현부상내열과정진행료수치모의,분석료담기속도、분기비화담화온도등인소대온도장화규전화솔적영향. 결과표명,모의계산치여실험치오차소우5%,해모형가이용래예측현부상내적열과정. 재본문조건하,당이평균립경2.7μm적규분위원료、담화온도위1380℃、담화시간위54.5s시,규적전화솔위22.5%. 모형예측표명,여과장담화온도승지1450℃、담화시간연장지7.1min,나요규전화솔가체98.6%,담화규순도체98%이상.
