传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
8期
1108-1113
,共6页
结冰传感器%微传感器%箔式应变片%温度补偿电路%电桥恒流驱动
結冰傳感器%微傳感器%箔式應變片%溫度補償電路%電橋恆流驅動
결빙전감기%미전감기%박식응변편%온도보상전로%전교항류구동
提出了一种MEMS应变式结冰传感器.传感器基于结冰造成薄膜刚度改变的原理,采用惠斯通电桥结构检测结冰薄膜上应变电阻的变化,感知结冰信号.传感器利用惠斯通电桥自身结构及外加温度补偿电路,可有效地抑制输出信号的温漂.通过理论分析和有限元仿真,分析了器件的敏感机理,并对结构参数进行计算.采用与IC工艺兼容的体硅MEMS工艺完成传感器的加工.实验结果表明,传感器检测结冰厚度的灵敏度优于0.1mm.
提齣瞭一種MEMS應變式結冰傳感器.傳感器基于結冰造成薄膜剛度改變的原理,採用惠斯通電橋結構檢測結冰薄膜上應變電阻的變化,感知結冰信號.傳感器利用惠斯通電橋自身結構及外加溫度補償電路,可有效地抑製輸齣信號的溫漂.通過理論分析和有限元倣真,分析瞭器件的敏感機理,併對結構參數進行計算.採用與IC工藝兼容的體硅MEMS工藝完成傳感器的加工.實驗結果錶明,傳感器檢測結冰厚度的靈敏度優于0.1mm.
제출료일충MEMS응변식결빙전감기.전감기기우결빙조성박막강도개변적원리,채용혜사통전교결구검측결빙박막상응변전조적변화,감지결빙신호.전감기이용혜사통전교자신결구급외가온도보상전로,가유효지억제수출신호적온표.통과이론분석화유한원방진,분석료기건적민감궤리,병대결구삼수진행계산.채용여IC공예겸용적체규MEMS공예완성전감기적가공.실험결과표명,전감기검측결빙후도적령민도우우0.1mm.
