纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
5期
427-431
,共5页
马剑强%李保庆%许晓慧%褚家如
馬劍彊%李保慶%許曉慧%褚傢如
마검강%리보경%허효혜%저가여
微变形镜%压电厚膜%高刚度
微變形鏡%壓電厚膜%高剛度
미변형경%압전후막%고강도
研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面、压电陶瓷与弹性支撑层厚度分别为100μm、60 μm与60μm,单元间距为5mm,通光口径为φ40 mm.对制备的样品性能进行了测试,微变形镜在100V电压驱动下变形量约为2.84 μm,工作带宽大于10 kHz.测试结果还表明压电厚膜驱动的微变形镜拥有较高刚度,有利于提高镜面初始平面度.
研究製備瞭一種壓電厚膜微變形鏡,微變形鏡的連續薄膜式單晶硅鏡麵由61單元壓電厚膜緻動器陣列驅動.以鏡麵遲程與工作頻帶寬為目標,對微變形鏡的結構參數進行優化設計,根據優化參數採用硅微加工技術試製瞭61單元緻動器的微變形鏡.鏡麵、壓電陶瓷與彈性支撐層厚度分彆為100μm、60 μm與60μm,單元間距為5mm,通光口徑為φ40 mm.對製備的樣品性能進行瞭測試,微變形鏡在100V電壓驅動下變形量約為2.84 μm,工作帶寬大于10 kHz.測試結果還錶明壓電厚膜驅動的微變形鏡擁有較高剛度,有利于提高鏡麵初始平麵度.
연구제비료일충압전후막미변형경,미변형경적련속박막식단정규경면유61단원압전후막치동기진렬구동.이경면충정여공작빈대관위목표,대미변형경적결구삼수진행우화설계,근거우화삼수채용규미가공기술시제료61단원치동기적미변형경.경면、압전도자여탄성지탱층후도분별위100μm、60 μm여60μm,단원간거위5mm,통광구경위φ40 mm.대제비적양품성능진행료측시,미변형경재100V전압구동하변형량약위2.84 μm,공작대관대우10 kHz.측시결과환표명압전후막구동적미변형경옹유교고강도,유리우제고경면초시평면도.
