TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究
TCAD기술재미전자실험교학체계중적응용여연구
Research and application of technology CAD in microelectronic experimental teaching system
  • 万方数据
    实验技术与管理 실험기술여관리
    EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
    2012年 2期 78-80 ,共3页

    刘剑霜%郭鹏飞%李伙全

    류검상%곽붕비%리화전

    TCAD技术%微电子实验教学%虚拟实验 TCAD技術%微電子實驗教學%虛擬實驗
    TCAD기술%미전자실험교학%허의실험
    针对传统微电子专业实验设备昂贵、实验周期长、效果不理想等缺点,提出了一种通过半导体工艺和器件的计算机辅助技术( TCAD)进行虚拟实验教学的方法.该方法速度快,可以在实验前后和过程中,直接观察材料和器件的形貌和内外参数,是对理论课程的实践和扩充.介绍了合理安排实验规划方案和解决实施中遇到问题的思路.
    침대전통미전자전업실험설비앙귀、실험주기장、효과불이상등결점,제출료일충통과반도체공예화기건적계산궤보조기술( TCAD)진행허의실험교학적방법.해방법속도쾌,가이재실험전후화과정중,직접관찰재료화기건적형모화내외삼수,시대이론과정적실천화확충.개소료합리안배실험규화방안화해결실시중우도문제적사로.
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