稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
1999年
4期
241-244
,共4页
郑红军%卜俊鹏%曹福年%白玉柯%吴让元%惠峰%何宏家
鄭紅軍%蔔俊鵬%曹福年%白玉柯%吳讓元%惠峰%何宏傢
정홍군%복준붕%조복년%백옥가%오양원%혜봉%하굉가
砷化镓%切片%磨片%抛光片%表面损伤层
砷化鎵%切片%磨片%拋光片%錶麵損傷層
신화가%절편%마편%포광편%표면손상층
采用TEM观测与X射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度相结合的方法,分析了SI-GaAs晶片由切、磨、抛加工所引入的损伤层深度.比较两种方法测量结果上的差异,得出了TEM观测到的只是晶片损伤层厚度,而X射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离所得的深度是晶片损伤层及其形成应力区的总厚度的结论.
採用TEM觀測與X射線雙晶迴襬麯線檢測化學腐蝕逐層剝離深度相結閤的方法,分析瞭SI-GaAs晶片由切、磨、拋加工所引入的損傷層深度.比較兩種方法測量結果上的差異,得齣瞭TEM觀測到的隻是晶片損傷層厚度,而X射線雙晶迴襬麯線檢測化學腐蝕逐層剝離所得的深度是晶片損傷層及其形成應力區的總厚度的結論.
채용TEM관측여X사선쌍정회파곡선검측화학부식축층박리심도상결합적방법,분석료SI-GaAs정편유절、마、포가공소인입적손상층심도.비교량충방법측량결과상적차이,득출료TEM관측도적지시정편손상층후도,이X사선쌍정회파곡선검측화학부식축층박리소득적심도시정편손상층급기형성응력구적총후도적결론.
