纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
2期
118-120
,共3页
软光刻技术%弹性印章%聚二甲基硅氧烷%SU-8胶印模
軟光刻技術%彈性印章%聚二甲基硅氧烷%SU-8膠印模
연광각기술%탄성인장%취이갑기규양완%SU-8효인모
为了解决软光刻技术中核心元件弹性印章的制备技术,对SU-8胶印模和聚合物弹性印章进行了工艺研究.通过多次实验和测量,获得了制作SU-8胶印模和聚合物弹性印章的稳定工艺参数,得到了表面形貌好、线条控制精确的SU-8胶印模和聚合物弹性印章样品.弹性印章特征线条尺寸在长宽高方向上为70mm×50μm×42μm,完全可满足软光刻技术要求,这为软刻蚀技术的进一步开发打下了良好的基础.
為瞭解決軟光刻技術中覈心元件彈性印章的製備技術,對SU-8膠印模和聚閤物彈性印章進行瞭工藝研究.通過多次實驗和測量,穫得瞭製作SU-8膠印模和聚閤物彈性印章的穩定工藝參數,得到瞭錶麵形貌好、線條控製精確的SU-8膠印模和聚閤物彈性印章樣品.彈性印章特徵線條呎吋在長寬高方嚮上為70mm×50μm×42μm,完全可滿足軟光刻技術要求,這為軟刻蝕技術的進一步開髮打下瞭良好的基礎.
위료해결연광각기술중핵심원건탄성인장적제비기술,대SU-8효인모화취합물탄성인장진행료공예연구.통과다차실험화측량,획득료제작SU-8효인모화취합물탄성인장적은정공예삼수,득도료표면형모호、선조공제정학적SU-8효인모화취합물탄성인장양품.탄성인장특정선조척촌재장관고방향상위70mm×50μm×42μm,완전가만족연광각기술요구,저위연각식기술적진일보개발타하료량호적기출.
