压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2009年
1期
4-5,8
,共3页
商晓莉%公勋%熊军%章德
商曉莉%公勛%熊軍%章德
상효리%공훈%웅군%장덕
延迟温度系数(TCD)%非晶态TeO2薄膜%36°Y-X LiTaO3Love波%层状结构%声表面波(SAW)
延遲溫度繫數(TCD)%非晶態TeO2薄膜%36°Y-X LiTaO3Love波%層狀結構%聲錶麵波(SAW)
연지온도계수(TCD)%비정태TeO2박막%36°Y-X LiTaO3Love파%층상결구%성표면파(SAW)
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2).非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数.另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%.故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料.
研究瞭非晶態TeO2/36°Y-X LiTaO3層狀結構的延遲溫度繫數(TCD),併計算瞭該結構中聲錶麵波(SAW)的其他重要特性,如聲波模式和機電耦閤繫數(k2).非晶態TeO2薄膜作為一種新型具有負溫度繫數的材料,噹將其沉積于具有正溫度繫數的36°Y-X LiTaO3上時,在膜厚僅為傳統SiO2薄膜的1/3情況下就可實現零延遲溫度繫數.另外,該結構中被利用的1階Love波模式很純,沒有和其他模式明顯的耦閤,而且其k2高達8.61%.故此結構是一種具有廣汎應用前景的新型複閤SAW應用材料.
연구료비정태TeO2/36°Y-X LiTaO3층상결구적연지온도계수(TCD),병계산료해결구중성표면파(SAW)적기타중요특성,여성파모식화궤전우합계수(k2).비정태TeO2박막작위일충신형구유부온도계수적재료,당장기침적우구유정온도계수적36°Y-X LiTaO3상시,재막후부위전통SiO2박막적1/3정황하취가실현령연지온도계수.령외,해결구중피이용적1계Love파모식흔순,몰유화기타모식명현적우합,이차기k2고체8.61%.고차결구시일충구유엄범응용전경적신형복합SAW응용재료.
