宇航材料工艺
宇航材料工藝
우항재료공예
AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY
2010年
3期
39-43
,共5页
透明导电氧化物%ZnO:Al薄膜%γ射线%原子氧%电学性能
透明導電氧化物%ZnO:Al薄膜%γ射線%原子氧%電學性能
투명도전양화물%ZnO:Al박막%γ사선%원자양%전학성능
利用直流磁控溅射法制备了两组ZAO薄膜,使用60Co放射源对一组薄膜进行了γ射线辐照,在原子氧地面模拟设备中对另一组进行了原子氧辐照,并对辐照前后的样品进行了微观结构、表面形貌及电学特性的表征.结果表明,较高剂量率的γ射线辐照会降低薄膜的结晶程度,而低剂量率的辐照有相反作用.γ射线可激发薄膜中的电子,提高其载流子浓度,最大比率为16.39%.AO辐照仅对ZAO薄膜的表面具有氧化效应,导致表面化学成分中晶格氧比例的提高和薄膜载流子浓度的下降.随着薄膜厚度的增大,载流子浓度的下降比例逐渐减小.
利用直流磁控濺射法製備瞭兩組ZAO薄膜,使用60Co放射源對一組薄膜進行瞭γ射線輻照,在原子氧地麵模擬設備中對另一組進行瞭原子氧輻照,併對輻照前後的樣品進行瞭微觀結構、錶麵形貌及電學特性的錶徵.結果錶明,較高劑量率的γ射線輻照會降低薄膜的結晶程度,而低劑量率的輻照有相反作用.γ射線可激髮薄膜中的電子,提高其載流子濃度,最大比率為16.39%.AO輻照僅對ZAO薄膜的錶麵具有氧化效應,導緻錶麵化學成分中晶格氧比例的提高和薄膜載流子濃度的下降.隨著薄膜厚度的增大,載流子濃度的下降比例逐漸減小.
이용직류자공천사법제비료량조ZAO박막,사용60Co방사원대일조박막진행료γ사선복조,재원자양지면모의설비중대령일조진행료원자양복조,병대복조전후적양품진행료미관결구、표면형모급전학특성적표정.결과표명,교고제량솔적γ사선복조회강저박막적결정정도,이저제량솔적복조유상반작용.γ사선가격발박막중적전자,제고기재류자농도,최대비솔위16.39%.AO복조부대ZAO박막적표면구유양화효응,도치표면화학성분중정격양비례적제고화박막재류자농도적하강.수착박막후도적증대,재류자농도적하강비례축점감소.
