中南大学学报（自然科学版）
中南大學學報（自然科學版）
중남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL SOUTH UNIVERSITY
2010年
3期
896-905
,共10页
安希忠%李长兴%刘国权%沈峰满%李友清
安希忠%李長興%劉國權%瀋峰滿%李友清
안희충%리장흥%류국권%침봉만%리우청
金刚石膜%化学气相沉积%气相化学
金剛石膜%化學氣相沉積%氣相化學
금강석막%화학기상침적%기상화학
综述CVD金刚石膜沉积过程中反应器内气相化学的理论研究进展,阐述不同条件下反应器内的气相化学反应模型、反应机理及各种数值仿真方法,总结这些气相反应的选取及所对应的动力学机理.研究结果表明:CVD金刚石膜反应器内的气相化学是一个十分复杂的过程,与双碳组元相比,单碳组元对膜沉积的贡献较大,在组元C2H2,C2,CH3,C和CH中,决定膜生长的组元由具体操作条件而定.对CVD金刚石膜反应器内气相化学的研究结果不但可以为探讨膜生长机理的表面化学提供准确输入,还可为高效、优质膜的获得提供理论依据.
綜述CVD金剛石膜沉積過程中反應器內氣相化學的理論研究進展,闡述不同條件下反應器內的氣相化學反應模型、反應機理及各種數值倣真方法,總結這些氣相反應的選取及所對應的動力學機理.研究結果錶明:CVD金剛石膜反應器內的氣相化學是一箇十分複雜的過程,與雙碳組元相比,單碳組元對膜沉積的貢獻較大,在組元C2H2,C2,CH3,C和CH中,決定膜生長的組元由具體操作條件而定.對CVD金剛石膜反應器內氣相化學的研究結果不但可以為探討膜生長機理的錶麵化學提供準確輸入,還可為高效、優質膜的穫得提供理論依據.
종술CVD금강석막침적과정중반응기내기상화학적이론연구진전,천술불동조건하반응기내적기상화학반응모형、반응궤리급각충수치방진방법,총결저사기상반응적선취급소대응적동역학궤리.연구결과표명:CVD금강석막반응기내적기상화학시일개십분복잡적과정,여쌍탄조원상비,단탄조원대막침적적공헌교대,재조원C2H2,C2,CH3,C화CH중,결정막생장적조원유구체조작조건이정.대CVD금강석막반응기내기상화학적연구결과불단가이위탐토막생장궤리적표면화학제공준학수입,환가위고효、우질막적획득제공이론의거.
