应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
3期
595-598
,共4页
陈朝平%师建涛%郭芮%白波%杨崇民%郭鸿香
陳朝平%師建濤%郭芮%白波%楊崇民%郭鴻香
진조평%사건도%곽예%백파%양숭민%곽홍향
中红外带通滤光片%薄膜%离子辅助沉积%通带半宽度%峰值透过率
中紅外帶通濾光片%薄膜%離子輔助沉積%通帶半寬度%峰值透過率
중홍외대통려광편%박막%리자보조침적%통대반관도%봉치투과솔
中红外带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计.论述了一种在锗基底上采用锗和硫化锌两种材料设计并成功制备出中红外带通滤光片的方法.详细介绍了镀膜材料的选择以及这种方法的设计理论,给出了膜系结构,运用离子辅助沉积工艺在ZZSX-1100镀膜机上制备出了这种滤光片,测试结果表明:所制备的滤光片峰值透过率达到87％以上,通带半宽度为70 nm,光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现.
中紅外帶通濾光片在航天、氣象、遙感等領域有著重要的應用,峰值透過率和通帶半寬度是帶通濾光片的重要指標,主要取決于光學薄膜的膜繫結構和具體設計.論述瞭一種在鍺基底上採用鍺和硫化鋅兩種材料設計併成功製備齣中紅外帶通濾光片的方法.詳細介紹瞭鍍膜材料的選擇以及這種方法的設計理論,給齣瞭膜繫結構,運用離子輔助沉積工藝在ZZSX-1100鍍膜機上製備齣瞭這種濾光片,測試結果錶明:所製備的濾光片峰值透過率達到87％以上,通帶半寬度為70 nm,光譜性能穩定,膜層緻密,附著力好,膜繫結構簡單,易于實現.
중홍외대통려광편재항천、기상、요감등영역유착중요적응용,봉치투과솔화통대반관도시대통려광편적중요지표,주요취결우광학박막적막계결구화구체설계.논술료일충재타기저상채용타화류화자량충재료설계병성공제비출중홍외대통려광편적방법.상세개소료도막재료적선택이급저충방법적설계이론,급출료막계결구,운용리자보조침적공예재ZZSX-1100도막궤상제비출료저충려광편,측시결과표명:소제비적려광편봉치투과솔체도87％이상,통대반관도위70 nm,광보성능은정,막층치밀,부착력호,막계결구간단,역우실현.
