日本近年RF MEMS开关研究的进展
일본근년RF MEMS개관연구적진전
Recent Development on RF MEMS Switches in Japan
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2006年 1期 43-45 ,共3页

    景玉鹏%黄钦文%石莎莉%焦斌斌%李超波%董立军%杨清华%欧毅%陈大鹏%叶甜春

    경옥붕%황흠문%석사리%초빈빈%리초파%동립군%양청화%구의%진대붕%협첨춘

    射频表面微机械系统%高频开关%高频继电器 射頻錶麵微機械繫統%高頻開關%高頻繼電器
    사빈표면미궤계계통%고빈개관%고빈계전기
    RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RF MEMS的执行机构.静电执行器驱动的RF MEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件.
    RF MEMS시사빈표면미궤계계통간칭.사빈표면미궤계계통현재포괄려파기화미형전기원건,여개관,미가변전용화미가변전감.사빈개관안구동원리분유정전,압전,전자이급열구동.유우저일연구적고빈화화고정도적특점,목전개관적연구집중재정전구동적방식적연구상,종상시적산품래간,정전구동시최유희망적RF MEMS적집행궤구.정전집행기구동적RF MEMS개관성위하일대고빈통신중적관건부건.
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