溅射后退火簇状GaN纳米棒的生长及其镁的作用
천사후퇴화족상GaN납미봉적생장급기미적작용
Fabrication of nanorods in cluster by ammoniating technique and the function of Mg
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2007年 2期 193-194 ,共2页

    艾玉杰%薛成山%孙莉莉%孙传伟%庄惠照%王福学%杨昭柱%秦丽霞

    애옥걸%설성산%손리리%손전위%장혜조%왕복학%양소주%진려하

    GaN%磁控溅射%纳米棒 GaN%磁控濺射%納米棒
    GaN%자공천사%납미봉
    采用磁控溅射技术先在硅衬底上制备Ga2O3/Mg薄膜,然后在1000℃时于流动的氨气中进行氨化反应制备GaN薄膜.X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、选区电子衍射(SAED)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)的结果表明采用此方法得到了六方纤锌矿结构的GaN单晶纳米棒.通过扫描电镜(SEM)观察发现纳米棒的形貌,纳米棒的直径在200～600nm之间.我们对镁层的作用进行了简单探讨.
    채용자공천사기술선재규츤저상제비Ga2O3/Mg박막,연후재1000℃시우류동적안기중진행안화반응제비GaN박막.X사선연사(XRD)、X사선광전자능보(XPS)、선구전자연사(SAED)화고분변투사전자현미경(HRTEM)적결과표명채용차방법득도료륙방섬자광결구적GaN단정납미봉.통과소묘전경(SEM)관찰발현납미봉적형모,납미봉적직경재200～600nm지간.아문대미층적작용진행료간단탐토.
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