辽宁师范大学学报（自然科学版）
遼寧師範大學學報（自然科學版）
료녕사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
2期
172-174
,共3页
李梦轲%刘俊%金红%丁圣
李夢軻%劉俊%金紅%丁聖
리몽가%류준%금홍%정골
硅纳米线%化学气相沉积%温度%生长结构%光致发光
硅納米線%化學氣相沉積%溫度%生長結構%光緻髮光
규납미선%화학기상침적%온도%생장결구%광치발광
以硅烷为反应气体,温度为850～1100℃,在(100)取向的单晶硅片上.采用化学气相沉积法生长了一维硅纳米线.用扫描电子显微镜观察了硅纳米线的表面形貌,用X射线衍射仪研究了硅纳米线生长结构与反应温度的关系.分析了不同实验条件对硅纳米线生长结构的影响,并对一维硅纳米线与块体硅的光致发光(PL)特性进行了分析比较.
以硅烷為反應氣體,溫度為850～1100℃,在(100)取嚮的單晶硅片上.採用化學氣相沉積法生長瞭一維硅納米線.用掃描電子顯微鏡觀察瞭硅納米線的錶麵形貌,用X射線衍射儀研究瞭硅納米線生長結構與反應溫度的關繫.分析瞭不同實驗條件對硅納米線生長結構的影響,併對一維硅納米線與塊體硅的光緻髮光(PL)特性進行瞭分析比較.
이규완위반응기체,온도위850～1100℃,재(100)취향적단정규편상.채용화학기상침적법생장료일유규납미선.용소묘전자현미경관찰료규납미선적표면형모,용X사선연사의연구료규납미선생장결구여반응온도적관계.분석료불동실험조건대규납미선생장결구적영향,병대일유규납미선여괴체규적광치발광(PL)특성진행료분석비교.
