固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2009年
2期
162-166
,共5页
郑惟彬%孔月婵%陈堂胜%陈辰%CHEN Chen
鄭惟彬%孔月嬋%陳堂勝%陳辰%CHEN Chen
정유빈%공월선%진당성%진신%CHEN Chen
蒙特卡罗法%Ⅲ族氮化物%输运特性
矇特卡囉法%Ⅲ族氮化物%輸運特性
몽특잡라법%Ⅲ족담화물%수운특성
利用Silvaco软件中的蒙特卡罗算法,详细研究了Ⅲ-氮化物的速-场特性和低场迁移率特性,数值计算了掺杂浓度和晶格温度对Ⅲ-氮化物输运特性的影响.结果表明,在忽略缺陷和表面粗糙度散射的条件下,Ⅲ-氮化物的强场输运特性取决于材料的谷间散射,且当掺杂浓度小于le17 cm-3时,杂质对速-场特性的影响可忽略不计;而低场迁移率特性则主要受晶格振动散射和电离杂质散射的影响.此外,根据Ⅲ-氮化物速-场特性的模拟结果,对"速度过冲"效应提出一种新的解释.
利用Silvaco軟件中的矇特卡囉算法,詳細研究瞭Ⅲ-氮化物的速-場特性和低場遷移率特性,數值計算瞭摻雜濃度和晶格溫度對Ⅲ-氮化物輸運特性的影響.結果錶明,在忽略缺陷和錶麵粗糙度散射的條件下,Ⅲ-氮化物的彊場輸運特性取決于材料的穀間散射,且噹摻雜濃度小于le17 cm-3時,雜質對速-場特性的影響可忽略不計;而低場遷移率特性則主要受晶格振動散射和電離雜質散射的影響.此外,根據Ⅲ-氮化物速-場特性的模擬結果,對"速度過遲"效應提齣一種新的解釋.
이용Silvaco연건중적몽특잡라산법,상세연구료Ⅲ-담화물적속-장특성화저장천이솔특성,수치계산료참잡농도화정격온도대Ⅲ-담화물수운특성적영향.결과표명,재홀략결함화표면조조도산사적조건하,Ⅲ-담화물적강장수운특성취결우재료적곡간산사,차당참잡농도소우le17 cm-3시,잡질대속-장특성적영향가홀략불계;이저장천이솔특성칙주요수정격진동산사화전리잡질산사적영향.차외,근거Ⅲ-담화물속-장특성적모의결과,대"속도과충"효응제출일충신적해석.
