测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2011年
2期
122-127
,共6页
戴罡%陆建%刘剑%秦渊%倪晓武
戴罡%陸建%劉劍%秦淵%倪曉武
대강%륙건%류검%진연%예효무
毫秒激光%激光损伤%损伤阈值%损伤机理
毫秒激光%激光損傷%損傷閾值%損傷機理
호초격광%격광손상%손상역치%손상궤리
根据ISQ-11254分别测量了脉宽1 ms,波长1 064 nm激光作用下TiO2/SiO2高反膜、增透膜的损伤阈值,结合高分辨率CCD和光学显微镜观测了损伤形貌,分析了毫秒量级激光损伤光学薄膜的损伤机理.结果表明:脉宽1 ms激光作用下TiO2/SiO2增透膜的损伤阈值为高反膜的2.4倍,损伤区域为若干分离的损伤点,认为损伤是由膜层中含有的缺陷或杂质引起的.读数显微镜的结果显示,长脉冲激光作用下薄膜元件的损伤厚度为(180±5)μm.研究结果可供脉宽为ms量级的激光与光学薄膜相互作用的基础研究提供参考.
根據ISQ-11254分彆測量瞭脈寬1 ms,波長1 064 nm激光作用下TiO2/SiO2高反膜、增透膜的損傷閾值,結閤高分辨率CCD和光學顯微鏡觀測瞭損傷形貌,分析瞭毫秒量級激光損傷光學薄膜的損傷機理.結果錶明:脈寬1 ms激光作用下TiO2/SiO2增透膜的損傷閾值為高反膜的2.4倍,損傷區域為若榦分離的損傷點,認為損傷是由膜層中含有的缺陷或雜質引起的.讀數顯微鏡的結果顯示,長脈遲激光作用下薄膜元件的損傷厚度為(180±5)μm.研究結果可供脈寬為ms量級的激光與光學薄膜相互作用的基礎研究提供參攷.
근거ISQ-11254분별측량료맥관1 ms,파장1 064 nm격광작용하TiO2/SiO2고반막、증투막적손상역치,결합고분변솔CCD화광학현미경관측료손상형모,분석료호초량급격광손상광학박막적손상궤리.결과표명:맥관1 ms격광작용하TiO2/SiO2증투막적손상역치위고반막적2.4배,손상구역위약간분리적손상점,인위손상시유막층중함유적결함혹잡질인기적.독수현미경적결과현시,장맥충격광작용하박막원건적손상후도위(180±5)μm.연구결과가공맥관위ms량급적격광여광학박막상호작용적기출연구제공삼고.
