人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
1期
74-78
,共5页
ZnO薄膜%Al掺杂%溶剂热%机理
ZnO薄膜%Al摻雜%溶劑熱%機理
ZnO박막%Al참잡%용제열%궤리
采用溶剂热法在玻璃衬底上制备Al掺杂的ZnO薄膜,研究了溶剂热过程中升温、恒温和降温三个阶段分别对薄膜物相和形貌的影响,探讨了薄膜的生长机理.结果表明,升温阶段只是形核过程,基片仅在升温阶段与前驱液接触不能形成薄膜；基片在升温-恒温阶段与前驱液接触可制备(002)择优取向的薄膜；恒温阶段既有成核过程又有晶体生长过程,基片仅在恒温阶段与前驱液接触可以制备薄膜；降温阶段薄膜继续生长.
採用溶劑熱法在玻璃襯底上製備Al摻雜的ZnO薄膜,研究瞭溶劑熱過程中升溫、恆溫和降溫三箇階段分彆對薄膜物相和形貌的影響,探討瞭薄膜的生長機理.結果錶明,升溫階段隻是形覈過程,基片僅在升溫階段與前驅液接觸不能形成薄膜；基片在升溫-恆溫階段與前驅液接觸可製備(002)擇優取嚮的薄膜；恆溫階段既有成覈過程又有晶體生長過程,基片僅在恆溫階段與前驅液接觸可以製備薄膜；降溫階段薄膜繼續生長.
채용용제열법재파리츤저상제비Al참잡적ZnO박막,연구료용제열과정중승온、항온화강온삼개계단분별대박막물상화형모적영향,탐토료박막적생장궤리.결과표명,승온계단지시형핵과정,기편부재승온계단여전구액접촉불능형성박막；기편재승온-항온계단여전구액접촉가제비(002)택우취향적박막；항온계단기유성핵과정우유정체생장과정,기편부재항온계단여전구액접촉가이제비박막；강온계단박막계속생장.
