光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
5期
996-1001
,共6页
压电驱动器%迟滞非线性%建模%非局部记忆
壓電驅動器%遲滯非線性%建模%非跼部記憶
압전구동기%지체비선성%건모%비국부기억
考虑压电驱动器固有的迟滞特性对驱动器定位精度的影响,提出了一种精确描述压电驱动器迟滞非线性特性的建模方法.根据迟滞曲线的运动规律,并且考虑迟滞曲线的记忆更新特性,新的迟滞数学模型修正了单纯采用抛物线拟合时的建模误差.为了验证模型的有效性,以PST150/7/40VS12型压电陶瓷驱动器为例进行了试验研究.研究显示,采用抛物线迟滞模型对一阶反转输入信号进行预测时,最大误差为0.141 3 μm,均方误差为0.060 4 μm,对复杂信号模型预测的最大误差为1.396 0 μm,均方误差为0.856 6 μm;采用修正后的模型对文中复杂信号建模时,最大误差为0.237 0 μm,均方误差为0.09 μm.实验结果表明,修正后的模型不仅能够满足迟滞曲线的运动规律,还能够满足迟滞非线性的记忆更新特性,可以比较精确地描述复杂输人信号下的迟滞非线性特性.
攷慮壓電驅動器固有的遲滯特性對驅動器定位精度的影響,提齣瞭一種精確描述壓電驅動器遲滯非線性特性的建模方法.根據遲滯麯線的運動規律,併且攷慮遲滯麯線的記憶更新特性,新的遲滯數學模型脩正瞭單純採用拋物線擬閤時的建模誤差.為瞭驗證模型的有效性,以PST150/7/40VS12型壓電陶瓷驅動器為例進行瞭試驗研究.研究顯示,採用拋物線遲滯模型對一階反轉輸入信號進行預測時,最大誤差為0.141 3 μm,均方誤差為0.060 4 μm,對複雜信號模型預測的最大誤差為1.396 0 μm,均方誤差為0.856 6 μm;採用脩正後的模型對文中複雜信號建模時,最大誤差為0.237 0 μm,均方誤差為0.09 μm.實驗結果錶明,脩正後的模型不僅能夠滿足遲滯麯線的運動規律,還能夠滿足遲滯非線性的記憶更新特性,可以比較精確地描述複雜輸人信號下的遲滯非線性特性.
고필압전구동기고유적지체특성대구동기정위정도적영향,제출료일충정학묘술압전구동기지체비선성특성적건모방법.근거지체곡선적운동규률,병차고필지체곡선적기억경신특성,신적지체수학모형수정료단순채용포물선의합시적건모오차.위료험증모형적유효성,이PST150/7/40VS12형압전도자구동기위례진행료시험연구.연구현시,채용포물선지체모형대일계반전수입신호진행예측시,최대오차위0.141 3 μm,균방오차위0.060 4 μm,대복잡신호모형예측적최대오차위1.396 0 μm,균방오차위0.856 6 μm;채용수정후적모형대문중복잡신호건모시,최대오차위0.237 0 μm,균방오차위0.09 μm.실험결과표명,수정후적모형불부능구만족지체곡선적운동규률,환능구만족지체비선성적기억경신특성,가이비교정학지묘술복잡수인신호하적지체비선성특성.