中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2012年
3期
33-36
,共4页
崔锦峰%杨涛%张斌%强力%郑愉%张俊彦
崔錦峰%楊濤%張斌%彊力%鄭愉%張俊彥
최금봉%양도%장빈%강력%정유%장준언
摩擦因数%氟掺杂%等离子增强气相沉积(PECVD)
摩抆因數%氟摻雜%等離子增彊氣相沉積(PECVD)
마찰인수%불참잡%등리자증강기상침적(PECVD)
以CF4,CH4和H2作为前驱气体,改变基底温度,通过直流脉冲等离子气相沉积法(PECVD)制备掺氟类金刚石碳膜,用傅里叶红外光谱仪分析薄膜的键合结构,用拉曼光谱仪分析薄膜中杂化碳的sp2和sp3的存在状态,用纳米压痕仪和UMT-2MT摩擦磨损实验机分别测量了薄膜的硬度、摩擦因数等机械性能.结果表明,F主要以C-F3,C-Fx(x=1,2,3)基团的形式存在于薄膜中；基底温度从不加热到500℃的范围,薄膜能够保持较低于0.020的摩擦因数；且基底温度为400℃时薄膜具有0.016的最低摩擦因数,但当基底温度超过600℃时,会破坏薄膜的内部结构而使机械性能下降.
以CF4,CH4和H2作為前驅氣體,改變基底溫度,通過直流脈遲等離子氣相沉積法(PECVD)製備摻氟類金剛石碳膜,用傅裏葉紅外光譜儀分析薄膜的鍵閤結構,用拉曼光譜儀分析薄膜中雜化碳的sp2和sp3的存在狀態,用納米壓痕儀和UMT-2MT摩抆磨損實驗機分彆測量瞭薄膜的硬度、摩抆因數等機械性能.結果錶明,F主要以C-F3,C-Fx(x=1,2,3)基糰的形式存在于薄膜中；基底溫度從不加熱到500℃的範圍,薄膜能夠保持較低于0.020的摩抆因數；且基底溫度為400℃時薄膜具有0.016的最低摩抆因數,但噹基底溫度超過600℃時,會破壞薄膜的內部結構而使機械性能下降.
이CF4,CH4화H2작위전구기체,개변기저온도,통과직류맥충등리자기상침적법(PECVD)제비참불류금강석탄막,용부리협홍외광보의분석박막적건합결구,용랍만광보의분석박막중잡화탄적sp2화sp3적존재상태,용납미압흔의화UMT-2MT마찰마손실험궤분별측량료박막적경도、마찰인수등궤계성능.결과표명,F주요이C-F3,C-Fx(x=1,2,3)기단적형식존재우박막중；기저온도종불가열도500℃적범위,박막능구보지교저우0.020적마찰인수；차기저온도위400℃시박막구유0.016적최저마찰인수,단당기저온도초과600℃시,회파배박막적내부결구이사궤계성능하강.
