物理学进展
物理學進展
물이학진전
PROGRESS IN PHYSICS
2004年
2期
152-162
,共11页
徐红玉%张元冲%宋亚勤%卢秉恒%陈殿云
徐紅玉%張元遲%宋亞勤%盧秉恆%陳殿雲
서홍옥%장원충%송아근%로병항%진전운
短脉冲激光%薄膜热传递%综述%微尺度%研究进展
短脈遲激光%薄膜熱傳遞%綜述%微呎度%研究進展
단맥충격광%박막열전체%종술%미척도%연구진전
短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技术中的应用,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅猛发展.本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述.
短脈遲激光顯微微加工因其具有製作高精度微結構的能力和其在現代微製作技術中的應用,微呎度薄膜熱傳遞的研究受到極大關註,近年來對薄膜結構高頻加熱的研究迅猛髮展.本文對十年來薄膜微呎度熱傳遞的相關研究進展做瞭簡要評述.
단맥충격광현미미가공인기구유제작고정도미결구적능력화기재현대미제작기술중적응용,미척도박막열전체적연구수도겁대관주,근년래대박막결구고빈가열적연구신맹발전.본문대십년래박막미척도열전체적상관연구진전주료간요평술.
