金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2005年
1期
84-88
,共5页
裴志亮%张小波%王铁钢%宫骏%孙超%闻立时
裴誌亮%張小波%王鐵鋼%宮駿%孫超%聞立時
배지량%장소파%왕철강%궁준%손초%문립시
直流反应磁控溅射%ZAO薄膜%生长机制%光电特性
直流反應磁控濺射%ZAO薄膜%生長機製%光電特性
직류반응자공천사%ZAO박막%생장궤제%광전특성
采用磁控溅射技术制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜.研究了不同的工艺参数对薄膜的组织结构和光电特性的影响.实验结果表明,多晶ZAO薄膜具有(001)择优取向且呈柱状生长,能量机制决定其微观生长状态.讨论了薄膜的内应力,高的沉积温度和低的溅射功率可有效减小薄膜的内应力.优化的ZAO薄膜电阻率和在可见光区的平均透射率可分别达到3×10-4-4×10-4Q·cm和80%以上.
採用磁控濺射技術製備瞭ZnO:Al(ZAO)薄膜.研究瞭不同的工藝參數對薄膜的組織結構和光電特性的影響.實驗結果錶明,多晶ZAO薄膜具有(001)擇優取嚮且呈柱狀生長,能量機製決定其微觀生長狀態.討論瞭薄膜的內應力,高的沉積溫度和低的濺射功率可有效減小薄膜的內應力.優化的ZAO薄膜電阻率和在可見光區的平均透射率可分彆達到3×10-4-4×10-4Q·cm和80%以上.
채용자공천사기술제비료ZnO:Al(ZAO)박막.연구료불동적공예삼수대박막적조직결구화광전특성적영향.실험결과표명,다정ZAO박막구유(001)택우취향차정주상생장,능량궤제결정기미관생장상태.토론료박막적내응력,고적침적온도화저적천사공솔가유효감소박막적내응력.우화적ZAO박막전조솔화재가견광구적평균투사솔가분별체도3×10-4-4×10-4Q·cm화80%이상.
