半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2006年
12期
2150-2154
,共5页
卢磊%周锋%唐长文%闵昊%王俊宇
盧磊%週鋒%唐長文%閔昊%王俊宇
로뢰%주봉%당장문%민호%왕준우
中心抽头差分电感%中心抽头等效模型%参数提取%S参数%两端口
中心抽頭差分電感%中心抽頭等效模型%參數提取%S參數%兩耑口
중심추두차분전감%중심추두등효모형%삼수제취%S삼수%량단구
提出了中心抽头差分电感的中心抽头等效模型,对其差分应用时的单端和差分阻抗进行推导,利用两端口S参数测试提取出等效电阻值、等效电感值和品质因数.在0.35μm 1P4M射频工艺上设计并实现一个中心抽头的差分叠层电感,使用去嵌入测试的两端口S参数进行模型验证.实验测试结果表明,在自激振荡频率以内等效模型和测试结果非常吻合.
提齣瞭中心抽頭差分電感的中心抽頭等效模型,對其差分應用時的單耑和差分阻抗進行推導,利用兩耑口S參數測試提取齣等效電阻值、等效電感值和品質因數.在0.35μm 1P4M射頻工藝上設計併實現一箇中心抽頭的差分疊層電感,使用去嵌入測試的兩耑口S參數進行模型驗證.實驗測試結果錶明,在自激振盪頻率以內等效模型和測試結果非常吻閤.
제출료중심추두차분전감적중심추두등효모형,대기차분응용시적단단화차분조항진행추도,이용량단구S삼수측시제취출등효전조치、등효전감치화품질인수.재0.35μm 1P4M사빈공예상설계병실현일개중심추두적차분첩층전감,사용거감입측시적량단구S삼수진행모형험증.실험측시결과표명,재자격진탕빈솔이내등효모형화측시결과비상문합.
