中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2007年
6期
30-33
,共4页
阳生红%CH(A)TELET Marc
暘生紅%CH(A)TELET Marc
양생홍%CH(A)TELET Marc
四极质谱仪%氢化Si(100)表面%脱附%氢分子角分布
四極質譜儀%氫化Si(100)錶麵%脫附%氫分子角分佈
사겁질보의%경화Si(100)표면%탈부%경분자각분포
利用可旋转四极质谱仪对氢原子束与氢化Si(100)表面作用中氢提取反应产生的氢分子角分布进行了系统的分析.发现氢原子束与氢化Si(100)表面作用中,从氢化Si(100)表面脱附的氢分子具有较宽的角分布,并可以用函数cosnθf(其中n＜1)拟合氢分子角分布.脱附的氢分子角分布与Si(100)表面温度和表面重构模型无关.根据硅表面重构机制,用非活性脱氢模型对实验结果进行了合理的解释.
利用可鏇轉四極質譜儀對氫原子束與氫化Si(100)錶麵作用中氫提取反應產生的氫分子角分佈進行瞭繫統的分析.髮現氫原子束與氫化Si(100)錶麵作用中,從氫化Si(100)錶麵脫附的氫分子具有較寬的角分佈,併可以用函數cosnθf(其中n＜1)擬閤氫分子角分佈.脫附的氫分子角分佈與Si(100)錶麵溫度和錶麵重構模型無關.根據硅錶麵重構機製,用非活性脫氫模型對實驗結果進行瞭閤理的解釋.
이용가선전사겁질보의대경원자속여경화Si(100)표면작용중경제취반응산생적경분자각분포진행료계통적분석.발현경원자속여경화Si(100)표면작용중,종경화Si(100)표면탈부적경분자구유교관적각분포,병가이용함수cosnθf(기중n＜1)의합경분자각분포.탈부적경분자각분포여Si(100)표면온도화표면중구모형무관.근거규표면중구궤제,용비활성탈경모형대실험결과진행료합리적해석.
