光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
9期
1727-1731
,共5页
赵宏伟%杨志刚%范尊强%张志宇%吴博达%程光明
趙宏偉%楊誌剛%範尊彊%張誌宇%吳博達%程光明
조굉위%양지강%범존강%장지우%오박체%정광명
压电驱动器%尺蠖运动%精密定位%闭环控制
壓電驅動器%呎蠖運動%精密定位%閉環控製
압전구동기%척확운동%정밀정위%폐배공제
针对尺蠖型压电驱动器的输出特性,提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线,逐步"搜索"驱动电压值,从而逼近目标位置的闭环控制方法.分析了控制方法的可行性,针对该方法,构建了闭环控制实验系统,对该方法进行了实验验证.实验结果表明,采用该方法可以实现对尺蠖型压电驱动器的闭环精确控制,系统闭环定位误差低于0.18μrad,定位精度比开环工作提高了14.4%.该方法具有控制精度较高、响应迅速、易于实现等优点.
針對呎蠖型壓電驅動器的輸齣特性,提齣瞭利用驅動電壓與輸齣位移分段線性擬閤麯線,逐步"搜索"驅動電壓值,從而逼近目標位置的閉環控製方法.分析瞭控製方法的可行性,針對該方法,構建瞭閉環控製實驗繫統,對該方法進行瞭實驗驗證.實驗結果錶明,採用該方法可以實現對呎蠖型壓電驅動器的閉環精確控製,繫統閉環定位誤差低于0.18μrad,定位精度比開環工作提高瞭14.4%.該方法具有控製精度較高、響應迅速、易于實現等優點.
침대척확형압전구동기적수출특성,제출료이용구동전압여수출위이분단선성의합곡선,축보"수색"구동전압치,종이핍근목표위치적폐배공제방법.분석료공제방법적가행성,침대해방법,구건료폐배공제실험계통,대해방법진행료실험험증.실험결과표명,채용해방법가이실현대척확형압전구동기적폐배정학공제,계통폐배정위오차저우0.18μrad,정위정도비개배공작제고료14.4%.해방법구유공제정도교고、향응신속、역우실현등우점.
