制备工艺对P型ZnO薄膜微观结构和电学特性的影响
제비공예대P형ZnO박막미관결구화전학특성적영향
Influences of Preparation Techniques on the Microstructure and Electric Characteristics of p-ZnO Thin Films
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2008年 5期 1237-1241,1272 ,共6页

    丁瑞钦%陈毅湛%朱慧群%黎扬钢%丁晓贵%杨柳%黄鑫钿%齐德备%谭军

    정서흠%진의담%주혜군%려양강%정효귀%양류%황흠전%제덕비%담군

    ZnO薄膜%工艺条件%微观结构%电学特性 ZnO薄膜%工藝條件%微觀結構%電學特性
    ZnO박막%공예조건%미관결구%전학특성
    本文报道溅射工艺、退火工艺和冷却方式对磷扩散法制备的P型ZnO薄膜的微观结构和电学特性的影响的实验研究.研究结果表明,ZnO薄膜的表面形貌、结晶度、内应力以及电学特性均与制备工艺条件有密切的关系.文章对这些关系的机理做了探讨和分析.
    본문보도천사공예、퇴화공예화냉각방식대린확산법제비적P형ZnO박막적미관결구화전학특성적영향적실험연구.연구결과표명,ZnO박막적표면형모、결정도、내응력이급전학특성균여제비공예조건유밀절적관계.문장대저사관계적궤리주료탐토화분석.
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