传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
12期
60-62
,共3页
王锋%宋永伦%张军%王文襄
王鋒%宋永倫%張軍%王文襄
왕봉%송영륜%장군%왕문양
胶粘剂%电阻点焊%微机电系统%压力传感器
膠粘劑%電阻點銲%微機電繫統%壓力傳感器
효점제%전조점한%미궤전계통%압력전감기
针对点焊过程压力监测的MEMS压力传感器的粘贴问题,采用不同种类的胶粘剂粘贴MEMS压力传感器,在自制的压力测试平台上模拟点焊电极压力对传感器进行了加压测试.测试结果表明:采用α-氰基丙烯酸酯系胶粘剂粘贴的MEMS压力传感器输出结果优于环氧树脂系胶粘剂和酚醛树脂系胶粘剂粘贴的传感器的输出结果.造成不同胶粘剂粘贴传感器性能差别的主要原因在于胶粘层的弹性模量和厚度.
針對點銲過程壓力鑑測的MEMS壓力傳感器的粘貼問題,採用不同種類的膠粘劑粘貼MEMS壓力傳感器,在自製的壓力測試平檯上模擬點銲電極壓力對傳感器進行瞭加壓測試.測試結果錶明:採用α-氰基丙烯痠酯繫膠粘劑粘貼的MEMS壓力傳感器輸齣結果優于環氧樹脂繫膠粘劑和酚醛樹脂繫膠粘劑粘貼的傳感器的輸齣結果.造成不同膠粘劑粘貼傳感器性能差彆的主要原因在于膠粘層的彈性模量和厚度.
침대점한과정압력감측적MEMS압력전감기적점첩문제,채용불동충류적효점제점첩MEMS압력전감기,재자제적압력측시평태상모의점한전겁압력대전감기진행료가압측시.측시결과표명:채용α-청기병희산지계효점제점첩적MEMS압력전감기수출결과우우배양수지계효점제화분철수지계효점제점첩적전감기적수출결과.조성불동효점제점첩전감기성능차별적주요원인재우효점층적탄성모량화후도.
