湛江师范学院学报
湛江師範學院學報
담강사범학원학보
JOURNAL OF ZHANJIANG NORMAL COLLEGE
2008年
6期
24-28
,共5页
薛书文%梅芳%肖世发%莫东%黄子康
薛書文%梅芳%肖世髮%莫東%黃子康
설서문%매방%초세발%막동%황자강
ZnO薄膜%离子注入%XRD%吸收
ZnO薄膜%離子註入%XRD%吸收
ZnO박막%리자주입%XRD%흡수
利用溶胶凝肢方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO:Mg薄膜,将能量56 kev、剂量1×1017ions/cm2的N离子注入到薄膜中.离子注入后,将样品在500-900℃的氮气中退火,利用X射线衍射(XRD)和光吸收研究了薄膜中缺陷的恢复过程.结果显示,离子注入层在600-900℃的退火过程中分解和蒸发现象明显,这个结果对利用离子注入技术制备p型ZnO有很重要的意义.
利用溶膠凝肢方法在石英玻璃襯底上製備瞭ZnO:Mg薄膜,將能量56 kev、劑量1×1017ions/cm2的N離子註入到薄膜中.離子註入後,將樣品在500-900℃的氮氣中退火,利用X射線衍射(XRD)和光吸收研究瞭薄膜中缺陷的恢複過程.結果顯示,離子註入層在600-900℃的退火過程中分解和蒸髮現象明顯,這箇結果對利用離子註入技術製備p型ZnO有很重要的意義.
이용용효응지방법재석영파리츤저상제비료ZnO:Mg박막,장능량56 kev、제량1×1017ions/cm2적N리자주입도박막중.리자주입후,장양품재500-900℃적담기중퇴화,이용X사선연사(XRD)화광흡수연구료박막중결함적회복과정.결과현시,리자주입층재600-900℃적퇴화과정중분해화증발현상명현,저개결과대이용리자주입기술제비p형ZnO유흔중요적의의.
