传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2359-2361,2364
,共4页
胡明%张伟%张绪瑞%杨海波
鬍明%張偉%張緒瑞%楊海波
호명%장위%장서서%양해파
多孔硅%厚度%孔隙率%微晶粒尺寸%电化学腐蚀%显微拉曼光谱%热导率%绝热性
多孔硅%厚度%孔隙率%微晶粒呎吋%電化學腐蝕%顯微拉曼光譜%熱導率%絕熱性
다공규%후도%공극솔%미정립척촌%전화학부식%현미랍만광보%열도솔%절열성
研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用p+,p-两种掺杂浓度的硅片基底,采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀时间和腐蚀电流密度获得不同微结构参数的多孔硅层.分别采用显微拉曼光谱法及测量显微镜聚焦法测量了样品的热导率和厚度.研究发现,多孔硅层厚度影响热量传输路径,而孔隙率和微晶粒尺寸通过降低热导率从而使多孔硅的绝热性增强.
研究瞭多孔硅層厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒呎吋三箇微結構參數對其熱絕緣性的影響機製.實驗選用p+,p-兩種摻雜濃度的硅片基底,採用電化學腐蝕法,通過改變腐蝕時間和腐蝕電流密度穫得不同微結構參數的多孔硅層.分彆採用顯微拉曼光譜法及測量顯微鏡聚焦法測量瞭樣品的熱導率和厚度.研究髮現,多孔硅層厚度影響熱量傳輸路徑,而孔隙率和微晶粒呎吋通過降低熱導率從而使多孔硅的絕熱性增彊.
연구료다공규층후도,공극솔이급다공규중미정립척촌삼개미결구삼수대기열절연성적영향궤제.실험선용p+,p-량충참잡농도적규편기저,채용전화학부식법,통과개변부식시간화부식전류밀도획득불동미결구삼수적다공규층.분별채용현미랍만광보법급측량현미경취초법측량료양품적열도솔화후도.연구발현,다공규층후도영향열량전수로경,이공극솔화미정립척촌통과강저열도솔종이사다공규적절열성증강.
