CAJ | 학술논문

采用"摸扳法"以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料,以N ,N二甲基甲酰胺为溶剂,在N2保护和碳酸钾的催化作用下,合成了酞菁分子碎片,通过质谱分析确定了相对分子质量为243(理论值为243.34),验证了工艺过程的正确性.以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc,通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合,确定了合成反应终产物,进而以一定比例将PdPc 、H2PtCl6共溶在甲醇溶液中,在30～50 ℃下48 h杂化合成为有机半导体气敏材料.依据欧姆定律,并以激光微加工、半导体技术设计、制作了多孔电极平板结构,增大电极面积,降低了电极间距,比常用叉指电极结构的电阻降低了103倍以上,使其电导率接近无机半导体数量级,利于后续电路信号采集.通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌,确定其为连续、多孔的表面态,气孔在φ0.1～φ2 μm,既保证了导电,又有透气的特征.以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜,电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌,基本层膜厚2 μm,并有φ0.1～φ5 μm微球结晶体嵌入,分布匀一,呈现继续互融生长趋势.以静态法测量其气敏特性,结果表明传感器对NO2呈N型半导体,0.010%气体浓度下灵敏度为7.45倍;对NO呈P型半导体,0.010%气体浓度下灵敏度为0.25倍;响应时间为90s.对气体不同的变化规律说明其的气敏机理与气体性能有关.
채용"모반법"이대갑기분분、4-초기린분이청위원재료,이N ,N이갑기갑선알위용제,재N2보호화탄산갑적최화작용하,합성료태정분자쇄편,통과질보분석학정료상대분자질량위243(이론치위243.34),험증료공예과정적정학성.이공용기술장분자쇄편여록화파재정무순、DBU작용하합성묵록색사취대대갑분양기PdPc,통과홍외흡수광보분석험증료기흡수봉적측량치여이론치기본문합,학정료합성반응종산물,진이이일정비례장PdPc 、H2PtCl6공용재갑순용액중,재30～50 ℃하48 h잡화합성위유궤반도체기민재료.의거구모정률,병이격광미가공、반도체기술설계、제작료다공전겁평판결구,증대전겁면적,강저료전겁간거,비상용차지전겁결구적전조강저료103배이상,사기전도솔접근무궤반도체수량급,리우후속전로신호채집.통과전경관찰료다공전겁적미관SEM형모,학정기위련속、다공적표면태,기공재φ0.1～φ2 μm,기보증료도전,우유투기적특정.이진공도막기술장기민재료형성기민막,전경관찰기기민막적미관SEM형모,기본층막후2 μm,병유φ0.1～φ5 μm미구결정체감입,분포균일,정현계속호융생장추세.이정태법측량기기민특성,결과표명전감기대NO2정N형반도체,0.010%기체농도하령민도위7.45배;대NO정P형반도체,0.010%기체농도하령민도위0.25배;향응시간위90s.대기체불동적변화규률설명기적기민궤리여기체성능유관.